背膜工艺占功比对PERC太阳电池效率影响的研究

浙江正泰太阳能科技有限公司 ■ 陈刚 康忠平 江坚 张剑峰

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随着化石能源的日益枯竭和环境污染的日趋严重，光伏发电以其清洁无污染、取之不尽用之不竭等特点成为国际公认的理想替代能源[1-2]。如今，国际形势日趋复杂，国内政策逐渐收紧，光伏行业内不断洗牌重组，光伏企业的利润已不再是依靠盲目地追求扩产而获得，而是以不断降低电池的生产成本，大力发展高效电池来提升企业自身竞争力，在光伏行业内取得先机。

工业化生产PERC 太阳电池已经是光伏行业的发展趋势。相较于传统工艺生产的太阳电池，PERC 太阳电池的效率提升明显，这主要是因为其工艺是在电池背面生长一层A12O3薄膜作为钝化层，然后在A12O3薄膜表面覆盖一层SiNx薄膜，通过激光开槽的方式使金属电极与硅形成欧姆接触导出电流。从生产工艺来看，PERC 太阳电池新增加的原子层沉积或化学气相沉积A12O3、背面镀膜、激光开槽这3 个工序对电池效率产生了较大影响。

本公司引入了新厂家的A 型416 管式PECVD机台，已完成安装并交由工艺工程师调试。但在正常生产过程中发现，A 型416 管式PECVD 机台生产的电池的光电转换效率较原本B 型308 管式PECVD 机台生产的低0.07%左右，严重影响了电池的性能。虽然A 型416 管式PECVD 机台每炉生产电池的数量较B 型308 管式PECVD 机台增加了108 片，但炉内镀膜的均匀性变差。生产的电池效率低是设备投产过程中亟待解决的问题，因此，本文以A 型416 管式PECVD 机台生产的电池效率偏低为研究对象，重点分析了其与B 型308 管式PECVD 机台的差异，调整了背膜工艺，从而提高了电池效率，改善了电池性能。……