TFT-LCD中液晶取向异常亮点机理研究及改善

周 波，王 祺，宋勇志，洪永泰，陈维涛

(北京京东方显示技术有限公司, 北京 100176)

1 引 言

目前市场上ADS/IPS等硬屏TFT LCD显示产品中，液晶取向技术仍主要是接触式摩擦配向工艺，其中亮点类不良由于其可视性，一直是显示屏出货的主要不良。

按照亮点不良形成原理，可以将其分为两大类：像素亮点和不规则亮点。像素亮点主要是由于单个TFT充电异常造成的整个亚像素亮点[1]，此种不良主要是依靠阵列基板(Array)工艺条件优化、检测维修工序进行改善及维修[2]；另一种不规则亮点，正如其名，亮点形状不规则，与TFT充电无关，按其成因又分为两大类：异物亮点和非异物亮点。由屏内可见异物造成的亮点即为异物亮点，异物亮点可以通过人员作业管理、清洗设备优化[3]、摩擦强度优化[4]等方面进行改善。另一种非异物造成的不规则亮点，即为本文所要分析改善的亮点不良。

针对上述非异物亮点不良，一直未有有效的分析手段和明确的不良发生机理。本文通过对非异物亮点不良进行详细宏观和微观分析，同时建立实验室测试模型找到不良发生的根本影响要素，从本源上对这种不良建立了改善对策，并将改善条件在生产线进行了实际的验证及导入，验证了不良机理和实验室模型有效性，并提升了TFT LCD的量产良率。

2 非异物亮点不良的描述及初步分析

2.1 非异物亮点的不良描述

以我公司为例，该类不良的发生率维持在0.5%～1.5%左右，极大影响了我公司产品的良率和边效等级。……