微电子材料与器件课程教学改革初探

毛启楠

[摘           要]  微电子材料与器件主要介绍微电子领域中相关材料、器件以及工艺技术，是一门应用性较强的课程。总结课程教学现状和所存在的问题，并从教学内容、教学手段和考核方式三个方面对课程教学改革进行探讨。

[关    键   词]  微电子材料与器件;教学改革;教学内容;教学手段;考核方式

[中图分类号]  G642                    [文献标志码]  A                      [文章编号]  2096-0603（2020）18-0128-02

一、引言

在当今所处的信息时代，集成电路对经济发展、社会进步和国家安全的重要性是不言而喻的。然而，集成电路制造极其复杂，仅有少数几个国家掌握高端芯片的制造技术及相关设备。我国的集成电路制造仍与世界尖端水平存在一定的差距，关键技术和高端设备受制于人。芯片高度依赖进口的情况未来可能影响到国家的信息安全、经济安全和国防安全。因此，集成电路的自主可控是产业发展的目标。近年来，国家相继出台了一系列的文件和政策鼓励集成电路产业的发展，并成立大基金投资和扶持相关企业。在创新驱动发展战略的时代背景下，集成电路产业必将进入高速发展期。同时，产业对相关人才的需求量也会明显增加。

微电子材料与器件是我校材料科学与工程专业开设的一门专业限选课，主要介绍硅材料以及硅基器件在微电子领域中的制造工艺，也涉及化合物半导体材料与器件的相关内容。该门课程有别于传统的理论课，应用性较强，更贴近于实践。目的是让学生了解和掌握微电子材料与器件的工艺原理、工艺设备和工艺流程，提高学生分析和解决实际问题的能力，为学生在相关领域的就业和深造奠定良好的基础。……