电子级TMAH的市场供需分析

魏建东

摘 要：TMAH即四甲基氢氧化铵，作为湿电子化学品中的显影液，广泛应用于半导体及半导体显示领域，用于微细图形的加工。随着半导体及半导体显示行业的快速发展，TAMH的需求大幅提高，为了分析TMAH的投资可行性，本文通过查阅大量文献及实地走访调研，研究TMAH的国内及目标市场华南地区的生产供应及市场需求情况，为制定TMAH的投资方向和投资战略夯实基础。

关键词：TMAH;供需分析;半导体;半导体显示

中图分类号：TM63 文献标识码：A 文章编号：1671-2064（2020）02-0237-02

TMAH即四甲基氢氧化铵，无色透明溶液，分子式：（CH3）4NOH;分子量91.15，是一种具有优良腐蚀性能的各向异性腐蚀剂，选择性好，无毒且不污染环境，主要有工业级和电子级两大类，电子级TMAH在电子行业中广泛用作TFT-LCD、IC正胶显影剂，硅晶片蚀刻剂等，由于用于微细线路的制作[1]，为了保证产品的良率及质量要求，电子级TMAH有更为严格的质量控制指标，其金属离子含量为ppb级别，颗粒>=0.5?m数不超过100个/ml，电子级TMAH的生产方法主要有氧化银沉淀法、离子交换树脂法、碱置换法、离子膜电解法和电渗析法[2]，或者是多种单一方法的组合等。

1国内电子级TMAH的供需分析

1.1電子级TMAH国内产能

国内TMAH的生产企业主要有杭州格林达化学有限公司、沧州信联化工有限公司、无锡三开高纯化工有限公司、镇江润晶高纯化工有限公司。2018年，全国电子级TMAH产能为11.2万吨（格林达5万吨/年，沧州信联3万吨/年，无锡三开1万吨/年，镇江润晶2.2万吨/年），但较多产量应用于低端领域。

格林达为国内TMAH的龙头企业，在杭州建都生产基地，并为了与BOE产线相呼应，计划在合肥和鄂尔多斯新建相应生产及回收装置，其工艺采用了一条比国际上所用生产技术更先进，更绿色的生产路线，所产的湿化学品（TMAH）在全球的占有率为25%、中国大陆90%，韩国35%，客户主要有BOE、CSOT、天马、三星电子、LGD、AUO等国内外知名面板企业。

格林达生产工艺的技术特点：

（1）纯化技术（开发了过程控制提纯技术，即原料提纯，中间体提纯，电解过程提纯）;

（2）选定了特殊电解阳极（远高于钌鈦电极的使用寿命）;

（3）特种离子交换膜的选用;

（4）高精度的过程浓度在线检测控制技术;

（5）开发出适应电子元器件表面清洗、显影、蚀刻用的独特界面活性体系;

（6）开发出更为环境友好的碳酸盐电解法的生产工艺方法。

1.2全国电子级TMAH需求

由于电子级TMAH主要用于面板及半导体行业，因此可以通过国内面板及12寸晶圆的产量及增长趋势来推测电子级TMAH的需求量及发展趋势。

1.2.1全国面板行业对TMAH的需求

随着全球面板生产线加速向中国大陆转移，国内外面板企业正积极布局在中国大陆的生产线，加上重大产业规划和政策的扶持，中国显示面板的产能逐渐增加，目前，中国已超过韩国成为全球最大的面板生产基地[3]。表1为全国现有面板产能。

全国在建及计划建设的面板产线见表2。

未来在建及计划建设的12英寸晶圆产线见表4。

根据公司对CSOT T1、T2的实地调研，并通过计算得知，每生产1平方米面板需要消耗0.26kgTMAH，从而计算知2018年我国现有面板企业对电子级TMAH的需求量约为2.03万吨，若在建及规划建设的面板线投产后，预测2020年全国（大陆）面板行业TMAH的需求量将达到3.64万吨。

1.2.2全国半导体行业对电子级TMAH的需求量

TMAH在半导体晶圆生产过程中用作正型光刻胶的显影液，目前主流的晶圆厂为8寸和12寸产线，虽然，2015年之后18寸晶圆厂有少量投产，但12寸晶圆厂仍是主要投产的目标。目前国内12寸晶圆厂有8座，产能为466千片/月，计划和在建12寸晶圆厂有12座[4]，预计新增产能为635千片/月，预估2020年产能需求达到每月352万片8寸晶圆约当量，其中12寸晶圆比重高达82%。

根据《2015年湿化学品行业分析报告》中得知国内12英寸半导体晶圆生产过程中显影液的单耗量为22.56吨/万片。

表3及表4知，我国12寸晶圆对TMAH的需求量约为3万吨/年，其中未来需求1.7万吨/年。

综上所述，2018年全国面板行业及12英寸晶圆行业对电子级TMAH的需求量约为3.29万吨，在建及规划产线投产后，全国对电子级TMAH的需求量预计将达到6.6万吨/年。

2华南地区电子级TMAH的供需结构

2.1华南地区电子级TMAH产能

目前华南地区没有电子级TMAH的工业化生产。

2.2华南地区电子级TMAH需求量

2.2.1华南地区面板行业对TMAH的需求量

由表1及表2可知，位于华南地区的面板产线有13条，其对电子级TMAH的需求量为13803吨/年，其中已有产线的需求量为7796吨/年。

2.2.2华南地区半导体行业对TMAH的需求量

由表4可知，未来随着晋华集成、联电厦门、中芯国际和紫光等产线的投产，华南地区12英寸晶圆对TMAH的需求量将超过5000吨/年。

综上所述，华南地区对电子级TMAH的需求量将达到1.88万吨/年。

3结论

随着半导体及半导体显示行业的快速发展，电子化学品的需求市场快速扩大，其中湿电子化学品中显影液TMAH作为中等技术含量的产品，已在国内建设了多条生产线，并实现了进口产品的替代，经过实地调研，发现国内整体TMAH产能已超过需求，但是高端领域供应不足，在高端领域仍有一定的替代空间，另外TMAH地域供求极度不平衡，作为TMAH需求量较高的华南地区暂无生产装置，该地区有较大的市场缺口，仅从华南地区的市场供需分析，该区域存在投资机会，可以为进一步研究和制定投资战略奠定基础。

参考文献

[1] 张为，姚素英，刘艳艳，等.四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用[J].微电子学，2001（06）：422-424.

[2] 许小荣，范少文，董妍妍，等.四甲基氢氧化铵的制备及应用研究进展[J].化工进展，2011（S1）：295-297.

[3] 潘卓伟.平板显示产业现状分析[J].科技中国，2018，245（02）：74-78.

[4] 张倩.集成电路产业现状分析[J].科技中国，2018，245（02）：79-83.