超薄玻璃导热系数测量方法及影响因素

田英良，刘亚茹，李建峰，王伟来，陈鑫鑫，李俊杰，司国栋，王 为

(1.北京工业大学材料科学与工程学院，北京 100124;2.中国建材检验认证集团股份有限公司，北京 100024)

0 引 言

超薄玻璃是现代电子信息产业的关键基础材料，厚度小于1.1 mm的超薄玻璃具有表面平坦、硬度大、透光率高、化学稳定性好等特点[1]。随着玻璃的超薄化，又展现出可弯曲、质量轻、可加工等新特性[2]，可被广泛应用于LCD/OLED等显示器面板、新型照明、太阳能电池等领域，因此超薄玻璃被称为最具发展潜力的新材料之一[3]。

导热系数是玻璃材料重要的热学参数。利用导热系数可计算玻璃的退火工艺，降低热应力导致玻璃缺陷的风险[4]。在制备显示面板时，超薄玻璃需要经过多次热处理，准确获得超薄玻璃导热系数[5]。由于超薄玻璃薄型化、透光性的特点，导热系数常规测试方法难以准确测量[6]，原因在于玻璃变薄后，采用稳态法测试时，不能在玻璃试样上下两面建立稳定的温度梯度，致使导热系数测量不准确[7-8]；非稳态法测试时，由于玻璃太薄容易造成热击穿等问题[9]，特别是测试导热系数较大的玻璃时，例如石英玻璃，测试数值会明显偏低10%～15%[10]。由于玻璃的透光特性，在激光闪射法测试导热系数时，需要在玻璃表面涂镀不透明薄膜材料，且该方法测量结果只是热扩散系数，还需要测量玻璃密度、比热容等参数[11]，最终计算得出玻璃的导热系数，这些因素加大了测试结果误差。因此，需要探究一种适合超薄玻璃导热系数测量的新方法，来解决厚度小于1.1 mm的超薄玻璃导热系数难以测量的问题[12-13]。……