热压印方法构筑聚对羟基苯乙烯微米线条

蔡晨光，吴 坤

(淮北师范大学，安徽 淮北 235000)

随着半导体、生物医学、微机械等领域对聚合物材料提出的更高性能、更多功能化要求，聚合物纳米材料及其微纳加工技术逐渐成为纳米科学领域的研究热点。纳米压印是一种可以制造微纳结构的并行技术，具有成本低、生产效率高和设备简易的特点。但纳米压印的组合工艺复杂且所需控制因素较多，各种因素都会影响压印的结果[1-2]。所以如何有效地构筑微纳米结构薄膜的图案化成为目前纳米压印技术的难点之一。

Zhengdong Liu[3]等报道了在室温条件下，通过光掩模辅助固态光聚合作用制备二维共轭微孔聚合物(CMPs)薄膜的晶圆级图案化方法。罗哲等[4]针对曲面微光学结构的制备，通过深入分析硅的各向异性湿法腐蚀机理，综合采用光刻工艺、湿法腐蚀工艺、纳米压印工艺，提出了一种高精度、低成本、高产出、大尺寸、微结构制作曲面衍射光栅的方法。段智勇等[5]利用静电辅助压印技术和气压辅助纳米压印技术相结合，展示了一种新型纳米压印方法，此方法利用气体均匀施压来代替机械施压，解决了压力不均匀的问题，利用静电辅助施压的方式脱模，实现了脱模过程的均匀用力。并利用仿真软件Ansys进行仿真，通过仿真实验和理论研究来证明纳米压印过程是可行的，误差也在可以接受的范围内。

本文主要运用热压印的方法来构筑聚合物PVPh薄膜的微米线条图案，随后采用原子力显微镜(AFM)对图案化的聚合物薄膜进行表征，通过扫描在微米线条结构构筑的受限条件下的表面形貌，验证热压印方法构筑微米线条结构PVPh薄膜的可行性。……