微型热式流量传感器专利技术综述

饶红 田翠萍

摘要：流量测量广泛应用于各个领域，其中基于微型化、无干扰、集成化的流量测量需求以及技术的进步，微型热式流量传感器开始了长足发展。本文利用专利数据库，分析了微型热式流量传感器的专利申请态势，包括全球申请量年度分布、各国专利布局、技术原创、主要技术分支、重要专利和技术发展路线等，从专利的视角分析了该领域的技术发展历程和发展趋势，有助于微型热式流量传感器领域的技术应用和技术改进。

关键词：流量;MEMS;微型;热式

中图分类号：TP2121 文献标识码：A文章编号：1003-5168（2020）06-0112-04

1 引言

流量是工业中三大检测参数之一，早在古代，流量测量就应用于水利和农业灌溉，19世纪中叶到20世纪中叶，化工、冶金和石油工业的发展促进了流量传感器的发展，相继出现了差压式、热线式和容积式流量传感器，20世纪50至80年代，随着电子技术的进步，又相继发展出超声波、涡轮式、科里奥利和流体振动等新型流量传感器。20世纪50年代末的微电子机械系统（MEMS）設想的提出使流量传感器的发展发生重大转变：一方面，发展微型化、无干扰、集成化流量传感器是提高传统接触式流量测量精度的重要发展方向;另一方面，MEMS技术的发展更提出了如何在微小尺度下进行流量精确测量的问题。强大的市场需求和迅速的技术进步使微型流量传感器得到长足的发展[1]。

微型流量传感器根据测量原理分为：热线式（hotwire）或传热式（heat transfer）、差压式（differentialpressure）、升力式（lift force）、流体振动型（fluid oscillatory）、科里奥利（Coriolis ）及仿生（bionic）微型流量传感器等。……