真空管路中压力波动的模拟★

朱 冬 梁雨石

(东北林业大学交通学院，黑龙江 哈尔滨 150040)

0 引言

气动系统具有安全、可靠和洁净等特点而广泛应用在多个工业场合[1]。气动系统的压力波动存在于气源、执行元件及气管等多个元件中[2-5]，影响系统性能和稳定，许多学者对气动系统中的压力波动进行了研究。Spence等[6]仿真了不同流量时双吸泵内的压力波动，给出了不同监测点的压力波动特性。Kang等[7]分析了立式泵蜗壳内的压力波动。张宝夫等[8]分析了气冷罗茨真空泵中的压力波动,设计制作了一种减缓高压气体冲击的扭叶转子，降低了真空泵的噪声。康灿等[9]建立两级离心泵的三维模型，分析了不同流量条件下流道内的压力波动。徐斌等[10]依据平面波动理论建立了往复式压缩机管道振动及应力分析的数学模型，获得了管道系统的振动模态结果。王祖温等[11]设计了可在一定压力范围内自适应压力波动的缓冲气缸，分析了供气压力波动对高速气缸的影响。杨钢等[12]对蓄能器的进口特性进行了分析，通过改进结构参数和安装形式以改进蓄能器吸收压力波动的效果。仇艳凯等[13]设计了一种液压消声器，分析了其吸收压力波动的效果。

以上研究的压力波动多集中在正压系统，即系统压力高于大气压，而对于压力低于大气压的真空系统中的压力波动研究较少。真空系统广泛应用在电子半导体组装、汽车生产线和食品机械等多个方面，用于搬运芯片、汽车玻璃等易损易碎且不适合夹紧的物件，在镀膜、检漏系统等场合也有应用[14-16]。……