硅片甩干干燥装置

李欢 王敏

（扬州虹扬科技发展有限公司 江苏 扬州 225155）

引言

硅片旋转冲洗甩干是的一道重要工序，使用于Solar panel和Silicon wafer的生产制造过程中对Wet etching清洗后的硅片进行干燥和洁净处理。曾有一篇专利描述了一种甩干机内部的组合零件，该专利中所提的片盒夹具是多个夹具组装在一起，这样的装置是整体运作的，不利于单独拿取和检查硅片的状态。所提内筒底板圆心位置处开凿一个中心孔槽，每一个片盒夹具外部设置若干个固定孔。

目前市场上出现的硅片放置盒大多都是整体拿取、整体上料，不能单独翻转放置硅片的上料框，给操作带来了诸多不方便。

2 装置设计

此硅片甩干干燥装置，包含干燥桶、回转工作台、变频电机和转动机构，变频电机安装在干燥桶下端，并且变频电机上方安装有回转工作台，回转工作台上安装有旋转装置，旋转装置包含若干个定位架和若干个连接板，定位架顺着回转工作台的四周围方向间隔设置，并且相邻近的定位架之间有连接板相连接。

在以上技术方案的奠基之上，本文还做了以下改善：

（1）所提定位架至少有四个，通过多个定位架能够用于放置装有硅片的上料框，这是其的优势之处。

（2）定位架包含定位槽、放料框和销轴，使用这样的装置其优点是定位架被分成多个部分，放料框就能够翻转，放置上料架和拿取上料架就变得较为简单。所提定位槽固定在所提回转工作台上，并且定位槽的开口向内，所提放料框为内侧开口的长方形箱体，所提放料框位于所提定位槽内部，并且放料框上方与定位槽上方有活动插销连接。

（3）定位槽、放料框的侧边均开设有多个排水孔，使用这样的装置其优点是经过多个排水孔便于水份流出。放料框上方安装有拨动杆，使用这一步的优点是通过拨动杆能够便于转动放料框。

（4）变频机构为变频电机，回转工作台与变频电机上方的输出端相连接。

3 具体实施

下面将对本文所提的技术方案进行全面性讲解。

本文提供的一种硅片甩干干燥装置，包含干燥桶、回转工作台、变频电机和旋转装置，所提变频电机安装在干燥桶下端，且变频电机上方安装有回转工作台，所提回转工作台上安装有旋转装置，所提旋转装置包含若干个支撑架和若干个转换板，所提支撑架顺着回转工作台的四周围方向间隔设置，且相邻近的支撑架之间连接有转换板；本实施例是利用变频电机完成回转工作台的转动，其中旋转装置是安装在回转工作台上，回转工作台转动时，旋转装置能带动跟着转动，使得硅片得到甩干的目的。而旋转装置由两个部分组成，一个是支撑架，另一个是转换板，所提支撑架可以有大于或等于四个（依据器具的大小而定），支撑架是用于放置装有硅片的上料框，那支撑架就靠转换板来连接，这样使得回转工作台转动时，旋转装置不会脱离回转工作台而得到保障。

变频电机为驱动装置，所提变频电机上方的输出端连接有回转工作台；本实施例中变频电机就是驱动源，能够驱动回转工作台从而完成转动。

支撑架包含定位槽、不锈钢储料槽和插销，所提定位槽固定在所提回转工作台上，并且定位槽的开口向内，所提不锈钢储料槽为内侧开口的长方形箱体，所提不锈钢储料槽位于所提定位槽内部，且插销将不锈钢储料槽上方与定位槽上方相连接；本实施例中的支撑架分成多个部分，是定位槽和不锈钢储料槽的组合而成，其中定位槽是焊连在回转工作台上，其上方与不锈钢储料槽上方有插销做连接，这样不锈钢储料槽能够围绕着插销旋转，不锈钢储料槽的内侧面为开口面，当该开口面在不锈钢储料槽翻转向上后，就可以用来放置装有硅片的上料框，旋转不锈钢储料槽，可使不锈钢储料槽的开口面朝向内侧，此时完成整个上料框的放置动作。

定位槽、不锈钢储料槽的侧边均开有多个排水孔；本实施例中定位槽、不锈钢储料槽的各个侧边面上开设的排水孔有利于水份流出，使得水滴不再残留在硅片的表面。

不锈钢储料槽上方安装有切换拨片，本实施例中的切换拨片呈90度直角形状，可拉动不锈钢储料槽进行旋转，便于操作人员的抓取。

4 结束语

本文阐述的是一种硅片甩干干燥装置，这种结构简单，操作便捷，便于维修保养。通过变频电机带动回转工作台旋转，使存在旋转装置内部的硅片甩干，从而使硅片得到干燥处理。旋转装置由多个定位架组成，所有定位架内部的上料框都可以单独旋转，便于放置上料框也就是说可以单独转动某个上料框的硅片，这样使得操作便捷，安装起来也更简单明了。