多晶硅生产中渣浆处理工艺改造

冯晓春

（新疆协鑫新能源材料科技有限公司，新疆乌鲁木齐 830000）

多晶硅生产线中产生的渣浆含有较多的氯硅烷，如不进行合理的处理便随意倾倒、掩埋，将会严重破坏生态环境。渣浆主要来源于氢化装置，其主要成分为硅粉、四氯化硅、三氯氢硅、高沸物以及金属氯化物，其中硅粉含量占20%[1]，氯硅烷含量占79.5%，其他占0.5%。国内目前对渣浆固液分离的处理工艺普遍采用干燥汽化提浓，经提浓得到的滤渣的处理形式非常单一，工艺过于简单，处理效果差，浪费现象严重，同时还耗费了大量的碱液，生产成本相对较高。所以，研究完善多晶硅生产中渣浆处理工艺路线，是行业亟须解决的问题，是保证多晶硅的正常生产，维护生态环境的重要工艺。

1 多晶硅生产渣浆处理现状

1.1 多晶硅渣浆的产生原理

目前国内厂家通常会选用改良西门子法生产多晶硅，在还原生产多晶硅过程中产生的四氯化硅、氯化氢、氢气，由冷氢化装置全部回收利用，向流化床反应器中加入硅粉，在高温高压作用下生产多晶硅所需的原料三氯氢硅，实现多晶硅工艺的闭路循环，流化床反应器出口产出的混合气体中主要成分为硅粉、氢气、四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅及金属氯化物等，然后再将其进行洗涤、冷凝、提纯，一部分液体作为三氯氢硅产品输送至下游装置，一部分固液混合物形成渣浆从氢化系统中排出。99%以上的企业对渣浆的处理都是采用加碱中和、加水充分水……