多晶硅片单面制绒工艺的研究

张建军，许志卫，张志敏，张 永，孙晓凯，谢伟伟，徐苏凡

(1. 晶澳太阳能有限公司，邢台 055550；2. 睿纳能源科技有限公司，上海 200030)

0 引言

在制备太阳电池时，要去除硅片表面的有机物和金属杂质，消除硅片表面的机械损伤层；同时为了提高太阳电池对太阳光的吸收效果，需要在硅片表面形成凹凸性的织构，因此对硅片表面进行清洗制绒处理是非常必要的。

多晶硅片由大小不一的多个晶粒组成，表面晶向随机分布，碱性腐蚀液是各向异性腐蚀，不能用于多晶硅片清洗制绒，而各向同性的酸性腐蚀液更适用。但酸腐蚀技术的缺陷是腐蚀反应过程中腐蚀速率快且放热量太大，需要低温条件进行，同时对冷却、排风等硬件要求更高，所以链式制绒设备更适用于多晶硅片制绒。

多晶硅链式制绒设备的工艺原理为：硅片在滚轮上传输，在制绒槽内，用于吸收太阳光线的硅片正面朝下，与制绒槽下面的滚轮接触；而硅片背面朝上，与制绒槽上面的滚轮接触。制绒槽内的酸液成分为氢氟酸、硝酸及专用于金刚线切割硅片的制绒添加剂，其中，金刚线切割硅片的制绒添加剂主要是为了降低制绒液体的表面张力，从而有利于气泡、发生反应的含硅络合物等形成的“掩膜”脱离硅片表面。这对硅片正面的作用效果更为显著，促使硅片纵向和横向之间的反应速度差异缩小，有利于形成小而深的绒面，得到更低的反射率[1]。

多晶硅片的酸腐蚀过程主要分为2步。第……