基于NI-VISA的晶圆测试探针台远程控制软件的设计与实现

杜开元,袁 俊,卢旭坤

(1.广东利扬芯片测试股份有限公司，广东 东莞 523041； 2.西安电子科技大学 微电子学院, 西安 710071)

0 引言

近年来，晶圆测试在整个芯片制造流程中有着重要的地位，测试的成本占芯片制造总成本的30%，wafer中性能异常的die通过人工测试是难以实现的，而探针台(prober)作为一种在晶圆级芯片测试时必须的探针测试设备，通过探针测试，大大减少了测试时间以及后续流程中的成本与加工耗费[1]。随着仪器自动化技术的发展，wafer测试设备的自动化程度越来越高，手动或半自动测试设备慢慢被淘汰，使用全自动探针台的探针测试成为了晶圆测试的主要手段[2]。由于晶圆测试对工作环境和无尘条件的苛刻要求以及主流Prober探针台只能通过自带触摸显示屏进行操作的限制，使得芯片测试研发工程师对测试方案进行调试的过程变得繁琐，并且耗费了大量时间在不必要的环节。

对GPIB通讯协议进行应用编程时需要使用美国国家仪器NI公司所开发的NI-VISA接口。该接口适用于常用的多种仪器总线通信，并且自身有独特的软件架构，保证在驱动程序时不受设备平台、通信总线和外部环境的限制。使用NI-VISA进行仪器控制的应用开发可以通过一模一样的方法与仪器通信，而不用考虑接口具体是哪一种类型，大大简化仪器的控制应用[3]。

Python编程语言有着丰富的库以及GUI开发环境，Pyvisa库搭配NI公司的gpib-32.dll动态链接时库文件作为开发底层文件，再加上PyQt5作为GUI开发工具进行人机交互界面开发，可以实现实时控制测试设备仪器的功能[4]。……