关于延长在线LOW-E玻璃生产周期和提升质量的方法

苏雨田

（东台中玻特种玻璃有限公司，江苏 东台 224200）

0 引言

东台中玻特种玻璃有限公司通过采用 “在线CVD化学气相沉积法”工艺，生产在线低辐射镀膜玻璃，即在线LOW-E玻璃。该产品具有高可见光透射比，低可见光反射比，稳定的理化性能、热加工性能和机械性能，对中远红外线有很高的反射率和良好的节能保温性能。研究通过稳定浮法生产工艺制度、改进反应装置和优化镀膜操作来达到提高镀膜玻璃产品质量和延长镀膜生产周期的目的。

1 生产概述

在线LOW-E玻璃生产是指在浮法玻璃生产过程中，在热的玻璃表面通过化学气相沉积法喷涂上以锡为主要成分的化学溶液，形成多层具有低辐射功能的锡化合物膜层。反应装置分为阻挡层反应器和功能层反应器，分别安放于锡槽和退火窑内，如图1，2所示。

在阻挡层反应器中通入硅烷、乙烯、二氧化碳和氮气在700℃左右的温度下气体发生化学反应，在玻璃表面沉积出折射率在1.5~2的低价氧化硅（化学通式Six(chy)2）作为钠离子扩散的阻挡膜和减反射膜。反应后废气经腔道排出处理。阻挡层反应器示意如图3所示；工艺流程如图4所示。

图1 镀膜工艺布置

图2 镀膜设备布置

图3 阻挡层反应器示意

图4 阻挡层工艺流程

在功能层反应器中，有机锡与三氟乙酸及水以氮气作载气，经汽化在600℃左右的玻璃表面沉积出SnO2:F膜，反应后废气经腔道排出处理。功能层反应器示意如图5所示；工艺流程如图6所示。

图5 功能层反应器示意

图6 阻……