锥形套表面缺陷微观形貌的白光相移干涉重构及显著性检测

陈利，董勇

锥形套表面缺陷微观形貌的白光相移干涉重构及显著性检测

陈利，董勇

（中国工程物理研究院 电子工程研究所质检中心，四川 绵阳 621900）

针对锥形套在机械抛光后出现白点、凹坑等表面缺陷，采用特别目视方法，用电镜扫描能谱分析进行成分分析，用白光相移干涉术对表面微观形貌进行重构，并基于ITTI视觉显著性模型对重构图像进行显著性检测。最后提取出显著性目标的轮廓特征，从而反推分析产生缺陷的原因，指导加工，提高首次交检合格率。结果表明白光相移干涉术能高效重构微坑这类缺陷的形貌，而ITTI显著性检测对视觉污染具有良好平衡能力，显著性目标的特征分析反映损伤形成机理。根据缺陷特征指导加工，制定出相应的措施，可有效减少锥形套的表面缺陷。通过锥形套这个典型案例分析，本文采取的检测手段和改进加工的措施可以广泛应用于此类曲面异性回转体零件，有效提高机械抛光合格率。

锥形套表面；凹坑；白光相移干涉；显著性检测

表面缺陷是零件在加工过程中和在运输、存储和使用过程中生成的无一定规律的单元体。它与表面粗糙度、波纹度和表面上的形状误差一起，综合形成了零件的表面特征。零件表面出现一些随机、且无一定规律可循的沟槽、隆起、坑穴、伤痕、蚀痕等表面缺陷时，往往代表着机械零件加工方法、使用设备、周转方式等都可能出现不当情况。而表面缺陷也会对零件的美观程度、抗疲劳强度、抗腐蚀性能、配合的可靠性等有影响[1]。……