一种光学加速度传感器及加速度传感器系统

申请号:202110107185.6

【公开号】CN112782424A

【公开日】2021.05.11

【分类号】G01P15/03

【申请日】2021.01.27

【申请人】宁波正业自动化科技有限公司

【发明人】吴迅奇;朱洁琼

【摘 要】本发明提供了一种光学加速度传感器及加速度传感器系统，所述光学加速度传感器包括：传导光纤，其内部传导光波；半导体结构，其上刻蚀布拉格光栅，且与所述传导光纤对准，对射入的光波进行调制后反射回所述传导光纤；振动组件，其与所述半导体结构连接，感应被测物体的振动并传递给所述布拉格光栅。这样，将半导体结构和传导光纤分离开来设置，需要封装的时候，直接对半导体结构进行封装，解决了光纤弯曲半径过小，封装成传感器尺寸过大的问题；另外，半导体结构更为稳固，所以解决了布拉格光纤光栅易脆易断，无法测量高频振动信号的问题。