综合动力站房节能设计应用

朱进平

（中国电子系统工程第二建设有限公司，江苏 无锡214000）

集成电路净化厂房因为能耗高备受关注，据半导体厂务运行经验，综合动力站动力设备能耗占厂房耗电能耗的50%。综合动力站房合理的节能设计对运行费用的降低可从源头上进行控制。

综合动力站有大型冰机、空压设备、水泵等高能耗设备，对厂房温湿度要求严格，要求小温差，大风量送风。全空气空调系统采用温湿度独立控制方式，常采用全新风机组+干盘管形式。MAU 为了稳定的温湿度，常采用冷、热量抵消的方式，控制温湿度。冰机热回收可以提供稳定的热源，一次泵和二次泵系统的合理利用，可以控制水泵的输送能耗。冷却塔供冷技术的应用，可以在过渡季节减少冰机的运行时间，节约冰机的能耗。

本文从冰机热回收技术、一次泵和二次泵系统合理应用、冷却塔供冷技术三个方面浅谈综合动力站常用的节能设计。

1 冰机热回收系统的设计应用

综合动力站中单冷型冰机，蒸发器可以提供冰水，冷凝器释放的热量一般是通过冷却塔排放到空气中，造成了热污染。而热回收机组在蒸发器供冷的同时，冷凝器的冷凝热可以回收利用，通过闭式循环为MAU 提供热水，提高了空调机组出风的相对湿度，对洁净厂房温湿度精度控制有益。冷凝器多余的热量可以通过冷却塔散热排放到大气中。热回收机组的热回收量，理论上是冰机制冷量与压缩机作功量的总和。此部分热量如果全部合理利用起来，对厂房的电费运行也相当可观。……