真空炉故障分析与维修策略

闫殳裔， 程生坤， 高 健

（中国航发北京航空材料研究院， 北京 100095）

引言

真空炉是指炉内压力小于一个标准大气压的工艺处理设备，真空炉按照压力范围分为超高真空、高真空、中真空、低真空四种[1-2]。真空热处理能够提高工件质量，达到良好的材料处理能力，提高工件的耐用性能[3]。经过真空炉处理的工件，表面净化效果好，零件使用寿命更长。真空炉在使用过程中，可能会存在故障，为此需要进行维修和检查，以降低设备故障率，提高真空炉的工作效率，有利于正常生产[4-5]。真空炉发生故障未得到及时检修会造成极大的安全事故，影响正常使用，这对于故障的处理提出了较高的要求[6]。本文对真空炉故障进行分析，寻找故障发生的原因，保证真空炉的正常运行。

1 真空炉的典型故障

判断真空炉是否正常的一个重要标准是真空度的高低，在工厂生产中需要预防真空度降低现象。工业中的真空炉如图1 所示。

图1 真空炉

真空炉一般使用真空泵进行抽真空，真空泵是配合使用的设备，一般由机械泵与罗茨泵组合，对于真空度要求高的真空炉需要扩散泵。

1.1 真空度降低

真空炉组成一个完整的真空系统，需要各部分共同作用，才能保证真空炉正常使用。真空度降低的原因有2 个：

1）罗茨泵、机械泵负压性能降低。真空泵长期工作可能造成内部零件的磨损与老化，老化的零件导致气密性降低，无法达到真空度的要求。真空泵属于精密专业部件，对工作温度、油液颜色进行检查可以判断其是否存在故障。……