硅基电感LC滤波器的研究

叶波涛

（中国船舶重工集团公司第八研究院，江苏 扬州 225001）

0 引言

随着现代微电子科技的迅速发展，无源式滤波器的制造技术也有了很大的进步，它是各类微电子装置及数据信号控制系统中的关键电子元器件。随着微电子部件及相关电子模块逐步向微型化、功能丰富及高度集成的趋势演变，目前的主要任务是开发集成无源式滤波器。集成无源电子元器件的相关技术是指LC滤波器的集成化，该技术为电子元器件指明了1个创新发展的方向[1]。MEMS体硅工艺指的是一类精度非常高的立体化多层面结构微观尺寸加工技术，该技术可以达到微米级别的加工制造精度，适合生产制造高品质的滤波器，并且该技术已经通过许多相关工程试验的验证。

1 LC滤波器的基本概念及分类

LC滤波器（又称无源滤波器）指的是采用电感、电阻及电容原件设计组成的滤波电路系统，它能够滤去某次或者多次谐波，常规易应用的无源型滤波器的主体结构是将电感和电容元件串联使用，从而对主要次的谐波信号形成低阻抗的电路。单调的谐波滤波装置、双调的谐波滤波装置以及高通的滤波器都是无源型的滤波器。该类滤波器具有结构简单、造价低廉、平稳可靠和运行成本低等优势，是一类应用广泛的谐波整理方案；LC滤波器如图1所示。

图1 LC滤波器

LC滤波器能满足一定的技术指标，通常指的是频域的衰减和相移等指标；例如与时间范畴相关的时间响应需求。……