远程运维技术在共烧陶瓷基板制造设备中的应用

田 芳，刘 培，闫 冬，张彩云，孙宇彤

(1. 中国电子科技集团公司第二研究所， 山西 太原030024；2. 中北大学， 山西 太原030051；3. 山西大数据产业发展有限公司， 山西 太原030006)

随着移动通信、汽车电子、电力电子等新兴产业的快速发展，以LTCC 陶瓷基板、LC 滤波器、定向耦合器等为代表的微电子共烧陶瓷器件进入产业化阶段，市场需求量巨增。目前日本居全球共烧陶瓷器件产品市场与技术的主导地位，产品市场占有率达60%以上。我国微电子共烧陶瓷行业的市场需求也在快速增长，在航天航空、计算机、通信、汽车、医疗等领域的应用越来越广泛，连续几年产品需求量以每年30%以上的速度增长。

共烧陶瓷基板作为共烧陶瓷器件的代表产品，具有产品种类多、更新换代快、制造工艺复杂、性能要求高等特点，对相关制造工艺设备的要求也越来越高，迫切需要一种更加智能化的生产方式，提高共烧陶瓷基板的制造工艺水平，缩小共烧陶瓷产品性能与国外先进水平的技术差距，远程运维技术是缩小这种技术差距的一种行之有效的手段。通过远程运维技术可实现设备状态远程实时监控、设备关键部件故障诊断分析，便于设备供应商帮助共烧陶瓷产品生产商完成生产过程中的设备分析及维护。通过这种远程服务的模式，不仅可以为用户提供及时的运维服务，而且可以使设备制造商根据设备实际运行数据及设备故障等信息及时优化产品设计、开展设备升级换代研制，提高共烧陶瓷器件工艺设备技术水平，缩小国内外同类设备研制的技术差距。……