基于薄膜电阻的风动压检测系统*

田俊琦， 秦会斌， 华咏竹

(杭州电子科技大学 新型电子器件与应用研究所，浙江 杭州 310018)

0 引 言

风动压又称冲击波动压，是高速运动的气流产生的压力，从而在运动方向上产生冲击压强，也可以表示为单位体积的空气所具有的动能[1～3]。对于风动压的实时监测和监控可以让人们及时对较大的风动压及时做出应对措施，保证工厂、农场日常工作的正常进行，从而减少损失。目前风动压测量技术已广泛应用于工业、农业和风速风压测量领域。动态压力测量技术主要用于实现压力测量，但在超音速流动中，测量管头会产生体外冲击，无法准确测量流动压力，并且其动态特性会严重限制管腔效应。在一些试验中会使用动态压力探测法来测量风压，但是由于试验环境的特殊性，传感器动态特性较低。所以研究一种新型测量风动压的方法十分必要。

本文研究了基于薄膜电阻的风动压检测系统，试验结果表明这种检测系统可以准确检测风动压，具有良好的应用前景。

1 研究背景

目前,国内外在风动压的具体测量方法上进展不多，主要侧重于理论和仿真的研究。在国内，对于风动压超压理论的研究有优秀进展的学者有很多，他们对各自实验中的风动压超压衰减规律和分布进行了详细的计算[4～8]，理论研究已经较为成熟，因此，对于风动压的测量方法的研究已经是迫在眉睫。

国内现阶段设计的传感器基本都是扩散硅压力变送器，量程一般都在60 MPa左右，量程无法满足较大风动压的环境。……