硅烷类电子化学品研究进展

刘 阳，苏 腾，董 红，瞿志荣，伍 川*

(1.杭州师范大学 有机硅化学及材料技术教育部重点实验室，浙江 杭州 311121；2.氟硅精细化学品与材料制造协同创新中心，浙江 杭州 311121)

电子化学品又称电子化工材料，一般泛指电子工业使用的专用化学品和化工材料，即电子元器件、印刷线路板、工业及消费类整机生产和包装用各种化学品及材料，其产品专业性要求强，区分度高。电子化学品是芯片、半导体等高端电子产品的关键原材料，通常要求其纯度至少达到6N（99.9999%），有的甚至要求纯度达到9N 以上（99.9999999%）。虽然我国已具备较为完善的工业体系，制备的化合物种类齐全，但受制于分离提纯技术，目前国产电子化学品纯度尚无法满足实际需求。我国电子化学品大多依赖进口，受制于人，容易出现“卡脖子”现象，严重影响我国芯片、5G 等高端领域的发展。

按照电子化学品中硅烷的结构，对半导体和芯片沉积领域所用电子级硅烷进行介绍。

1 氯硅烷

在微电子行业和光伏产业中，多晶硅扮演着极其重要的角色。多晶硅既是新能源行业的原材料，也是生产单晶硅的直接原料。众所周知，单晶硅是半导体工业的基础材料，其重要性不言而喻。我国高端制造业的迅猛发展促进了电子行业的快速发展，电子级多晶硅处于电子产业链的最上游[1]，市场需求巨大。

三氯硅烷（HSiCl3）是制备多晶硅的重要原料，它由硅粉与无水氯化氢（HCl）气体在铜催化剂作用下高温反应制得，在生成HSiCl3的同时，该反应体系还不可避免地生成了大量的SiCl4副产物。……