基于MOS传感器阵列对有害混合气体的检测研究*

王萧行,张卫强,金庆辉,黄朝柱,唐 浩

(1.宁波大学 信息科学与工程学院，浙江 宁波 315211；2.中国科学院宁波材料技术与工程研究所 新能源所，浙江 宁波 315201)

0 引 言

研究发现室内最容易产生的有害气体是苯和甲醛[1]。苯会刺激黏膜，抑制中枢神经，并且苯是通过代谢才能对身体产生危害，因此,苯会在身体内形成具有毒性的代谢产物。甲醛具有强烈的致癌作用，长期接触会引起呼吸道疾病、鼻咽癌、结肠癌等疾病。针对这一问题，Bakather O Y等人[2]提出了一种浸渍有Fe2O3纳米颗粒的多壁碳纳米管用于从水中除去苯，证明了铁纳米颗粒浸渍的碳纳米管对水中苯的高效吸附性。Zhang N等人[3]提出了基于In2O3的传感器阵列，加入不同的钬、铱、钌、锰、钒和钼用来修饰传感器性能，该阵列利用传感器的交叉敏感性筛选不同挥发性有机化合物。Wang C H等人[4]在WO3表面上装载Ru制作出的传感器对二甲苯具有良好的响应。Chen L L等人[5]在ZnO的单层上加入钯、铂从而增强对苯和甲苯的吸附能力。詹灿坚等人[6]针对甲醛的测量提出了一种改进的深度残差网络的室内有害气体定量方法，方法结合了深度学习与传统信号降噪算法的优点，实现了在干扰气体下对甲醛浓度的识别。郑豪男等人[7]针对苯和甲苯气体提出了一种基于微纳电离型传感器的苯类毒害气体检测方法，并检测了8个浓度梯度苯和甲苯气体，采用双层叠加线性信号分析检测数据，从而实现气体浓度的识别。

综上所述，目前已有的有害气体检……