刻蚀上料机产能提升方法研究

王鹏鹏，郭远威

(中国电子科技集团公司第二研究所，山西 太原 030024)

随着光伏行业的竞争越来越激烈，各个厂家对设备产能的要求越来越高[1]。本文通过研究刻蚀上料机的结构和动作流程，分析产能的影响因素，主要从硅片的横向排定时间，硅片从横向传送机构位传至与刻蚀机对接位的时间两方面入手，使硅片快速传送至刻蚀机的滚轮上，从而提升刻蚀上料机的产能。

1 刻蚀上料机的结构和工作原理

刻蚀上料机主要包括纵向传送机构、横向传送机构、侧传送机构、伸缩手传送机构，缓存机构、花篮升降机构和花篮传送机构。刻蚀上料机的工作原理如下：

1)把装满硅片的花篮置于下层花篮传送机构的入口，由电机驱动同步带将满花篮传送至花篮升降机构；

2)花篮升降机构将满花篮提升至首片位；

3)伸缩手传送机构将平皮带伸入花篮底板与第一张硅片的空隙中；

4)伺服电机驱动花篮升降组件下降固定距离，硅片落到伸缩手皮带上，步进电机驱动伸缩手皮带转动,重复上述动作，将硅片依次从花篮中传出；

5)侧传送皮带对接伸缩手皮带，步进电机驱动侧传送皮带传送硅片；

6)横向传送皮带对接侧传送皮带，步进电机驱动横向传送皮带，通过光电传感器排定硅片；

7)横向传送皮带上排定5张硅片后，通过气缸驱动，横向传送机构下降15mm，硅片落至纵向传送皮带上；

8)交流步进电机驱动纵向传送皮带，快速将硅片传送至刻蚀机滚轮上，完成上料功能。……