一种电子气阀门切换系统的设计及应用

邓 韬，许高坡，李 伟，钟小禹

(广州广钢气体能源股份有限公司，广东 广州 511458)

调节阀是自动调节系统不可缺少的组成部分，可以调节管路介质的压力、流量等。调节阀按驱动能源形式分为气动、电动、液动三种[1-2]。气动调节阀就是以压缩气体为动力源，以气缸为执行器，并借助于阀门定位器、转换器、电磁阀、保位阀、储气罐、气体过滤器等附件去驱动阀门，实现开关量或比例式调节，接收工业自动化控制系统的控制信号来完成调节管道介质的：流量、压力、温度、液位等各种工艺过程参数。气动调节阀的特点就是控制简单，反应快速，且本质安全，不需另外再采取防爆措施[3-4]。

随着电子行业越来越精细化的发展，半导体、液晶面板生产工厂对于气体供应的稳定性和连续性要求也越来越高，供气的中断会导致巨大的经济损失，所以在生产工厂采用的主供气装置之外还备有备用供气装置[5-6]。目前气体工厂一般采用两路调压阀供气的方式进行供气，压力较低时需要工作人员到现场进行手动切换，常常出现供气压力偏低的情况，影响工厂正常生产[7]。

本文论述的一种新型电子气阀门切换系统能实现在用主供气装置一侧的气体压力低于设定值时，自动切换至备用供气装置进行气体供应，实现主供气装置和备用供气装置之间无扰自动切换，保证供气的连续性和稳定性，是电子气行业发展的又一创新之处。

1 电子气阀门切换系统的整体设计

本电子气阀门切换系统主要由第一供气系统(1)、第二供气系统(2)、自动切换阀组(3)及自动切换调压阀几大系统组成。……