芯片制造业电子化学品职业病危害因素及案例研究

任绍梅， 徐明伟*，王薇，冯丽，党云洋，贾少康，高建村

(1.北京石油化工学院安全工程学院，北京 102617； 2.北京市安全生产工程技术研究院，北京 102617)

中国大陆半导体设备市场规模在2013年之前占全球比重为10%以内，2014～2017年提升至10%～20%，2018 年之后保持在20%以上，份额呈逐年上行趋势。2020年，国内晶圆厂投建、半导体行业加大投入，大陆半导体设备市场规模首次在市场全球排首位，达到181亿美元，同比增长 35.1%，占比26.2%。我国对芯片的需求越来越高，随着中美贸易摩擦的加剧，进一步凸显了集成电路产业对中国经济稳定发展的重要性。集成电路产业是重要的战略性产业，是长期以来中国发展相对滞后的“卡脖子”产业[1]，是我国未来大力发展和扶持的产业。

北京进行产业结构疏解和调整，确立建设“政治中心、文化中心、国际交往中心、科技创新中心”战略定位，根据《北京市委关于“十四五规划”和2035年远景目标的建议》，北京市支持量子、脑科学、人工智能、区块链、纳米能源、应用数学、干细胞与再生医学等新型研发机构的发展。“十四五”规划中指出，北京市未来以聚焦前沿、促进融合为重点，突出高端领域、关键环节，扶持壮大一批优质品牌企业和特色产业集群，培育形成新一代信息技术、科技服务业2个万亿级产业集群，以及智能装备、医药健康、节能环保、人工智能4个千亿级产业集群。因此，未来北京在集成电路制造领域将有大规模发展。据不完全统计，集成电路生产所涉及化学品多达200多种，其中很多都是保密配方[2]。……