基于柔性打印技术的纳米湿度传感器*

李晓钰, 倪 磊, 张 勇, 杨林森, 董芹芯

(1.成都工业学院 网络与通信工程学院 四川 成都 611730；2.成都工业学院 卫星与无线通信先进技术研究所，四川 成都 611730)

0 引 言

目前，从工业生产、医学诊断、健康护理到智能服装等领域，智能化检测设备对其中传感器的要求越来越高。以可穿戴电子设备为例，其中涉及许多人与电子设备的交互系统，如触摸屏、键盘等。这些交互系统需要具备结构灵活，可根据测量条件的要求任意布置弯折等特点。而随着电子科技产业的发展以及环境可持续发展的要求，除了具有轻便、柔性化等优点外，同时要求在电子产品生产制造过程中尽量避免环境污染及材料浪费，所以采用非光刻技术来实现低成本、无污染制造的非接触印刷技术[1,2]受到了研究者的关注。

喷墨打印作为一种典型的非接触印刷技术，印刷过程中不与基材直接接触，从而降低了对基材参数的要求，因此基材适用性较广。 同时由于无需制版，喷印图案可通过软件精确控制，省去了制版等印刷工艺所耗费的资金和时间成本。喷墨打印采用的导电墨水中，银导电墨水[3,4]具有成本较低，又有优异导电性和较强化学惰性等优势，因此在印刷电子材料中应用最为广泛。

从传感器敏感材料角度考虑，纳米材料因其纳米尺度的结构特征，在制备微型化、高灵敏传感器方面具有很大的优势。其中,以纳米碳材料复合物敏感薄膜[5～7]为基础构建的传感器具有比表面积大、尺寸小、成本低、精度高等诸多优点，故在航空、军事、生产和日常生活方面都具有广泛的发展前景。……