MEMS传感器在汽车行业的应用现状综述

叶军红

（森萨塔科技常州有限公司，江苏 常州 213000）

随着汽车电气化和智能化的发展，汽车系统越来越多地使用各种不同种类的传感器和控制系统来提高汽车的安全性、舒适性和可靠性。

汽车传感器作为信息采集源，主要应用于动力总成系统、车身控制系统以及底盘系统中，对汽车的安全性、燃油效率和排放友好性具有重要意义，对汽车的速度、排放、动力总成、悬架、气候控制、环境控制等起着至关重要的作用。汽车传感器主要包括8类不同功能的传感器：压力传感器、位置传感器、温度传感器、加速度传感器、角速度传感器、流量传感器、气体浓度传感器和轮速传感器。

1 压力传感器

压力传感器在汽车行业的应用主要用于测量进气歧管、油箱、共轨、燃油喷射、制动液、空调压缩机、底盘、自适应悬架液压、轮胎的压力，其应用的压力范围为0~3000Bar。在点火和燃油控制系统中，由于压力传感器起着重要的作用，因此其在汽车行业的应用中具有重要意义。表1为压力传感器的力敏元件的类型和特点。

表1 压力传感器的力敏元件的类型和特点

目前主要的压力传感器技术［1］类型分为电容式、电感式、电位式、电阻式和压电式，其中陶瓷电容式和电阻应变片式（金属溅射应变片，硅应变片和硅压阻式）是汽车行业最常用的压力传感器技术。

2 温度传感器

温度传感器［2-5］在汽车行业的应用主要用于测量进气歧管、燃油、冷却液、尾气的温度，在汽车应用中起着至关重要的作用，其应用的温度范围为40~1500℃，见表2。……