光学真空镀膜机的应用及发展

孙海新

（歌尔股份有限公司，山东潍坊 261000）

0 引言

光学镀膜是指在真空条件下，用物理的方法在元件表面镀上一层或多层膜的过程。光学镀膜可以改变元件的光学性能，以满足不同场景的需求。随着工业技术的发展，用户对镀膜质量以及生产成本提出了更高的要求，不断提高的用户需求使得必须不断改进生产工艺。介绍光学镀膜机的结构以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面的决定性作用，针对Lens（镜头）的膜系生产提出了镀膜工艺的改进方法，以达到提高生产精度、降低生产和维护成本、减少污染的目的。

1 光学镀膜机的结构及原理

1.1 光学镀膜机结构

光学镀膜机由真空系统、蒸镀系统、冷却系统和电气系统组成，其中真空系统由真空罐和排气系统组成。真空罐是镀膜机的主体，镀膜过程就是在真空罐中完成的，通过连接阀将真空罐和排气系统相连。为了防止空气分子对溅射离子的影响、提高膜层的质量，在工作时，必须将光学元件和离子源置于真空环境中。排气系统主要由机械泵、罗茨泵和真空泵组成，负责排出真空罐内的气体、使罐内形成真空环境。

蒸镀系统主要指成膜装置部分，镀膜机器的成膜装置有很多种，如电阻加热、电子枪蒸发、磁控溅射、射频溅射、离子镀等。

1.2 光学镀膜机工作原理

光学镀膜机通过真空溅射的方式在光学元件上涂镀薄膜，以此改变元件对入射光线的反射率和透过率。同时，为了尽可能地减少元件表面的反射损失、提高成像质量，往往涂镀多层薄膜。……