ICP/MS辅助IC测试泰维克纸中磷酸根离子

王敏 张童强 向红

华润微电子重庆公司 重庆 400000

半导体芯片生产中，成品晶圆厚度薄，易碎，其运输保存要求极高。晶圆代工厂和封装厂通常不在一个地方，因此晶圆进入封装厂进行封装成芯片前需要一种洁净度高，柔软，不产生污染物作为包装隔离材料包装进行运输。太维克纸因其种质地轻柔，防水，抗撕扯，防油污，防紫外线等特性是成品晶圆运输包装的主要材料[1]。泰维克进料检测就显得极为重要。本文详细叙述了常规检测泰维克纸品质方式。使用IC（离子色谱）检测其浸泡液中Cl-，F-，离子含量，以此卡管控泰维克纸品质。实际测试中笔者通过实验发现：不同机型配置检测PO4-3结果差异较大，为验证测试结果及方法准确性，通过ICP/MS辅助测试浸泡液中PO含量，间接锁定PO4-3真实值，再调整分析测试条件，最终成功分离色谱峰PO4-3色谱峰中杂质，精确测试出了PO4-3离子真实含量。

1 实验部分

1.1 主要仪器

IC离子色谱仪（瑞士万通940）配有A Supp7-250/4.0色谱柱、A Supp5-150/4.0色谱柱、预浓缩柱、捕获柱、保护柱、电导检测器、化学抑制器、CO2抑制器、低脉冲串联式双活塞往复泵、MagIC Net 3.0工作站、IC自动进样器，赛默飞（ICS5000），电感耦合质谱仪ICP/MS安捷伦7500，移液枪（100ul），移液枪（1000ul），电子天平（CIV214C，万分之一天平）

1.2 试剂

H2SO4（关东化学，分析纯，98%）Na2CO3（关东化学，特级，纯度99.8%）NaHCO3（关东化学，特级，纯度99.5%-100.3%）。

PO4-3标准溶液（优级纯，关东化学，质量浓度1000mg/L）。

P标准溶液（优级纯，国家有色金属及电子材料分析测试中心，100ug/ml）。

ICP-MS调机液（安捷伦，10ug/l Ce、Co、Li、Tl、Y，CAS7697-37-2）。

1.3 测试条件

IC940条件[2]： IC940色谱柱：A Supp5-150/4.0柱；淋洗液3.2mmol/L Na2CO3+1.0 mmol/L NaHCO3；再生液0.5%硫酸溶液；柱温箱温度：35°；pump流量：0.7ml/min；压力7.18Mpa；……