微型晶体谐振器激光调频作动平台的探针末端定位误差分析

吴彦霖,李刚炎,方 豹

(武汉理工大学 机电工程学院，湖北 武汉 430070)

微型晶体谐振器的主要作用是在电子产品中提供时钟频率。近年来，随着5G技术的发展，市场对于尺寸更小、频率更高、稳定性好的微型晶体谐振器的需求量大增[1-2]。微型晶体谐振器的谐振频率在出厂前需要进行微调，使之达到需要的标称值，这是保证品控的关键工艺。激光调频技术是将传统的激光打标技术应用于微型晶体谐振器的减薄调频中，与传统的镀膜调频法和离子束真空减薄法等加工技术相比，具有清洁、精度高、灵活高效等优点，更适于大规模现代化生产。微型晶体谐振器激光调频作动平台的探针末端与微型晶体谐振器电路部分直接接触，并与起振条构成调频回路，接触点的定位精度直接影响产品的调频质量[3]。因此，为提高激光调频作动平台的调频精度，更好地进行品控，必须建立探针末端定位误差模型，分析各主要参数对误差的影响，以降低损耗，提高误差补偿效率。

国内外学者在几何误差建模方面进行了深入研究，提出了多种空间模型的建立方法[4-7]，其中，多体系统理论考虑各零部件所产生的误差因素和耦合关系，可以从整体精度反推各零部件的精度，在机床的几何误差研究中广泛使用，而在半导体加工设备研究领域应用较少[8]。

笔者针对微型晶体谐振器激光调频作动平台的加工工艺和结构特点，对初始加工位置时的探针末端定位误差，运用多体系统理论建立探针末端定位误差模型，运用蒙特卡洛法分析各参数的影响，从而为微型晶体谐振器激光调频作动平台的设计和调试提供理论依据。……