紫外-短波红外航天遥感探测器光电性能测试装置的研制和标定

张 钊，屈 炜，万 志

（1.上海科学技术交流中心，上海 200235；2.上海军民两用科学技术促进会，上海 200235；3.上海卫星工程研究所，上海 200240；4.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033）

0 引言

探测技术的核心部件就是探测器［1-3］，探测器性能直接决定探测设备的使用效果。随着紫外到红外波段的探测器越来越广泛地应用于国防、科研和工业生产过程监视等领域，国内对于探测器的需求也日趋增多。国外进口器件虽然性能和可靠性较好，但是价格高昂，且从事航天军工等敏感行业的单位受出口禁运制约，很难获得高等级器件，这已经成为限制我国探测器行业发展的瓶颈［4-7］。为了摆脱这种局面，国内一些高校和科研院所开始自主研发探测器，探测器的制造厂家为了控制产品的质量，必须对探测器的各项光电性能指标进行严格测试，筛选出性能接近或一致的个体产品［8-11］。由于材料和制作工艺等条件限制不能保证其所生产的所有探测器都能达到技术等级要求，必须通过测试来检验和甄别所生产的探测器是否合格［12］。由于各个厂家生产的探测器类型、封装型式、工作谱段以及结构尺寸都各不相同，因此，在市面上很难采购到现成的测试设备［13-14］。

基于上述分析，本文设计并研制了一套用于多谱段探测器光电性能测试的设备。该设备可以对紫外谱段到短波红外谱段的探测器进行光谱响应和光电特性参量测试，测试内容包括：绝对/相对光谱响应度、量子效率、归一化探测率、频响特性、偏压响应度和时间响应。……