比较法真空标准装置建标分析研究

房文涵

（核工业理化工程研究院，天津 300180）

真空计在本单位科研生产中已成为必不可少的工具。其中，电容薄膜真空计因准确度高、重复性及稳定性良好，与气体成分无关且不影响被测环境等优点，被广泛地用于核物理、半导体、高端装备制造等领域。电离真空计通过测量气体分子被电离所产生的离子流来确定真空度，是目前超高/极高真空测量领域唯一实际可用的真空计。真空应用对真空计量不断增长的需要和越来越高的要求，促进了真空计量的发展。国内从事真空计量研究的机构主要包括中国计量科学研究院、各省级计量院、国防科技工业真空一级、二级、三级技术机构以及部分高校。核工业理化工程研究院为国防科技工业真空三级技术机构，根据JJF（军工）5-2014《国防军工计量标准器具考核规范》要求，为保证本院真空仪器仪表量值传递的可靠性和准确性，特建立比较法真空计量标准器组。比较法真空标准装置主要用于真空量值的比对和校准，可校准压力范围为（1×10-4～1×10-1）Pa的电离真空计和压力范围为（1×10-1～1×105）Pa的电容薄膜真空计，具有十分重要的实用价值。

1 计量标准的组成及校准方法

1.1 计量标准的组成

比较法真空标准装置采用全金属超高真空的结构设计，以经上级计量机构中国计量院校准过的高精密电容薄膜真空计和磁悬浮转子真空计作为主标准器，其配套设备由莱宝复合真空规、主抽机械泵、旁抽机械泵和主抽分子泵组成。……