一种纳米多孔钛合金膜的制备方法

专利申请号：2020112333542

公布号：CN112342478A

申请日：2020.11.06 公开日：2021.02.09

申请人：西北有色金属研究院

本发明公开了一种纳米多孔钛合金膜的制备方法，该方法包括：一、将含铝钛合金箔材进行真空热处理；二、依次进行表面酸洗和纯化；三、进行电化学脱合金处理，经清洗和干燥得到多孔钛合金膜粗品；四、进行真空热处理以扩孔得到纳米多孔钛合金膜。本发明利用铝和钛在碱性溶液中电化学电势的不同，通过电化学脱合金处理对含铝钛合金箔材中的铝元素选择性溶解，从而在溶解脱除的铝的原来的位置形成直通孔隙，结合热处理扩孔工艺控制孔隙的大小和深度，得到孔隙分布均匀且孔径均一的纳米多孔钛合金膜，满足了微流量控制、过滤分离，气体传感器、超级电容器的电极、高催化活性体系、生物医学植入材料等领域的高精度应用要求。