单能、超大发散角及匀流密度离子源
2021-11-29 00:00:13张立新
西安工业大学学报
2021年6期
关键词：磁场
该成果为一种能够产生单一离子能量的，同时发散角可以根据实际需要进行调节，且在发散角内离子束流密度均匀一致的离子源。主要包括：放电室、离子束引出栅、聚焦磁场、离子能量选择器、能量调节电磁场、扫描磁场、驱动电路及控制系统等。
性能指标特点突出，输出束流：大于100 mA；功耗：<500 W；离子束发散角：0～180°可调；输出能量：20～2 000 eV可调；能量一致性精度：1%；离子束流均匀性：1%；无故障工作时间大于10 000 h。离子源输出的离子束发散角可达180°；离子输出能量单一性好；离子束流密度的均匀性好。主要应用于光学薄膜制造及材料研究领域。
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