真空镀膜机用小型磁性液体密封设计

于文娟，李德才,，李艳文，张志力，董珈皓

(1.北京交通大学 机械与电子控制工程学院，北京 100044；2.清华大学 摩擦学国家重点实验室，北京 100084)

磁性液体是一种新型纳米级功能性材料，它同时具有固体的磁性和液体的流动性，磁性液体通常由三部分构成，分别是磁性颗粒、表面活性剂和基载液[1].磁性液体密封是磁性液体最成熟的应用之一，具有零泄漏、长寿命、结构简单、可靠性高等优点[2].

国外真空镀膜机发展较早，1980年之后我国的真空镀膜技术才开始逐渐展开[3].随着时代的发展，对于镀制品的质量要求越来越高，提高了对真空镀膜机的设计要求[4]，解决镀制产品合格率不高是亟待解决的问题[5].真空镀膜机的传动轴轴头外伸部分的密封极其重要[6]，若密封达不到真空度要求，会影响最终镀膜效果，造成一系列损失.对于真空镀膜机传动控制轴处的密封是一个难题，国内外学者采用了多种密封方式，通常为橡塑密封或机械密封[7].在转轴转动过程中，橡塑密封[8]或机械密封[9]均存在一定摩擦，易于损坏密封装置或转轴，质量不稳定，从而产生泄漏，不但造成损失，而且污染了环境.传统密封[10]存在装配复杂、寿命短等不足，而磁性液体密封[11]可以克服以上不足.文献[12]设计了真空镀膜机用双轴磁性液体密封，通过理论分析及实验表明密封良好，镀膜产品满足质量要求，但是对于真空镀膜机传动控制轴处直径不大于10 mm时却不适用.本文作者结合磁性液体密……