涂层微磨具的制备及磨削表面质量实验研究

温雪龙, 王承宝, 巩亚东, 孙付强

(东北大学 机械工程与自动化学院, 辽宁 沈阳 110819)

涂层是一种物质形态,涂层制备技术及相关研究起源于20世纪30年代,属于真空技术领域.由于涂层微磨具的应用可以降低表面摩擦系数和减缓磨损从而提高使用寿命,其物质为晶态结构、物理性质稳定,因此随着功能材料涂层迅速发展,在未来工业元器件领域中具有广阔的应用空间.

金魁[1]用准分子脉冲激光制备涂层技术成功制备了该体系的超导涂层.Sun等[2]利用优化工艺结构制备了一种直径约700 μm的微磨具排屑槽,同时建立了基于材料微磨削尺寸效应和未变形切削厚度模型,利用新型结构微磨具针对蓝宝石进行微磨削力的实验研究.Shen等[3]采用超高压脉冲电源在不同润滑条件下对制备涂层进行组织冲蚀和摩擦学行为相关研究,发现DLC涂层在低浓度液体润滑的条件下摩擦性能优异.Xie等[4]发现工件表面形貌与金刚石砂轮微磨削过程中微裂纹萌生、延伸扩展及材料去除机制有关,通过优化磨削参数可以提高工件加工质量.Lionel等[5]研究发现在真空条件下进行气体放电和物理气相沉积技术可以实现复杂的形貌和优化粒子性质,同时对等离子体处理条件进行控制,使得离子轰击靶材的时间更利于制备细致的涂层结构.Fang等[6]解释了沉积态超薄铜涂层的吸收光谱及其随退火温度和时间的变化.Kuleshov等[7]针对钨钴类硬质合金利用高频交流电压进行表面……