晶盛机电：创新蓄动能加速推进高端半导体装备国产化

■ 本刊记者 吕悦

晶盛机电半导体设备研发车间

自2006 年成立以来，晶盛机电始终以“打造半导体材料装备领先企业，发展绿色智能高科技制造产业”为使命，致力于推动高端半导体材料装备国产化。2022 年第一季度，公司营业收入同比增长114.03%，净利润同比增长57.13%。如今，公司已在业内稳稳保持着技术和规模的双领先地位，连续五年完成利税位居中国电子专用设备行业首位。

持续创新勇为业界技术领跑者

今年3 月，晶盛机电晶体实验室经过半年多的工艺测试，全自动MPCVD 法生长金刚石设备成功生长出高品质宝石级的金刚石晶体，标志着晶盛机电在硅、蓝宝石、碳化硅等晶体生长设备家族中再添一新成员。

依托两项国家科技重大02 专项课题，在2010 年、2011 年，晶盛机电就瞄准“卡脖子”关键技术进行攻关，成功研制了国内最大规格的半导体级硅单晶生长炉和8 英寸区熔硅单晶炉，并生长出了国内最大的半导体级18 英寸直拉硅单晶棒和8 英寸区熔硅单晶棒。此后，晶盛机电又持续布局“长晶、切片、抛光、CVD”四大核心环节设备的研发，在半导体关键设备领域实现国产化替代，实现集成电路用8～12 英寸大硅片的生长和加工设备全面的自主可控。

“持续创新，才能永葆产品青春。近年来，公司研发投入一直保持高速增长，占营业收入的6%～8%，截至去年底，公司专利超500 项，其中发明专利66 项。”企业相关负责人表示。

突破瓶颈不断提升核心竞争力

2017 年，晶盛开始投资超过5亿元建设半导体零部件精密加工、表面处理等基地，把核心精密零部件加工技术和产能掌握在自己手里。……