扫描间距对激光制备纳米SiC抗氧化涂层的影响

路远航，骆芳,,，胡晓冬，蒋荣杰，沈逸周

扫描间距对激光制备纳米SiC抗氧化涂层的影响

路远航1,2，骆芳1,2,3,4，胡晓冬4，蒋荣杰3，沈逸周3

（1.杭州春江阀门有限公司，杭州 311500；2.浙江省春江智能阀研究院，杭州 311500；3.浙江工业大学之江学院，杭州 310024；4.浙江省高端激光制造装备协同创新中心，杭州 310014）

研究激光的扫描间距对纳米SiC涂层形貌、生长机理和抗氧化涂层的影响。以不同扫描间距的激光辐照制备SiC纳米涂层。分别利用体视显微镜、扫描电镜（SEM）和激光共聚焦显微镜分析涂层表面、截面的三维形貌，研究扫描间距对涂层形貌的影响，探究微米SiC颗粒转变为纳米SiC颗粒的演变及生长机理。用热失重法（TGA）研究试样高温抗氧化性能，包括试样的氧化失重率随温度变化和650、800 ℃两种温度下的恒温抗氧化性能对比分析，并用阿伦尼乌斯线性拟合进行了验证。激光能够促使预置于石墨基体上的微米SiC颗粒在Ar保护下的密闭反应室中转变为纳米SiC颗粒，且涂层主要由结晶度良好的α–SiC、β–SiC纳米晶颗粒组成。当扫描间距为0.08 mm时，形成的涂层表面较为平滑均匀，粗糙度较小，最高处与最低处的高度差仅为135.829 μm，且此间距下，试验活化能值=11.014×104J/mol最大，抗氧化性能最好。其次试样在600～850 ℃范围内，试样氧化失重率较低，小于8%，其氧化失重率与氧化时间呈现出较好的一次线性的拟合度。激光辐照制备的SiC纳米涂层的形貌、生长机理、高温抗氧化性能随着扫描间距的不同而产生较大变化，表明在激光扫描间距为0.08 mm的条件下所制备的试样涂层表面具有较高的活化能，验证了此参数下制备的涂层的高温抗氧化性能最好，且能够在高温环境中有效降低石墨的氧化失重率。

激光制备；扫描间距；SiC涂层；抗氧化性能

SiC纳米涂层由于具有优异的电学、磁学、光学和力学性能和散热性能，可在1 200 ℃以上仍能长期工作，并在机械、电子、化工、医疗、生物传感等领域得到了广泛应用[1]。近年来，制备涂层材料的方法主要有：料浆法、溶胶凝胶法（Sol–Gel）、气相沉积法、包埋法、热喷涂法等[2-6]。Yang等[7]采用包埋法制备了SiC/YSiC复合涂层，熔盐试验表明其抗氧化性能提高。Huang等[8]采用包埋法制备出了Si–SiC涂层和SiC–Si–ZrB2涂层，不仅在结构上分布致密，没有产生孔洞以及裂纹，而且基体与涂层间结合十分紧密。所制备的涂层具有优异的抗氧化保护能力，可使空气中的氧化失重率大大降低，但包埋涂层需要在100 ℃条件下干燥10 h，效率较低。

采用化学沉积法[9-12]制备SiC涂层、Cf/C/SiC复合涂层、C/SiC复合材料渗Cr后渗硅涂层，其制备温度较高，常需要十几到二十多小时。化学气相反应法（CVR）制备的SiC涂层上再沉积玻璃碳层，与石墨具有更强的结合力，使涂层具有更强的抗高温氧化性能[13-16]。其涂层避免了化学沉积仅做涂覆，不做孔隙填补的工艺弊端，但制备的碳化硅涂层的质量在很大程度上取决于石墨基体的原始表面条件，制备周期长达24 h。Luo等[17]采用浸渍的方法制备Al2O3包SiC，制备过程超过13 h。Fu等[18]采用简单低成本的浆料方法制备了硼酸玻璃，并将其与MoSi2按一定比例混合后刷涂在SiC–C/C复合材料上制备了高温抗氧化的复合涂层[19-20]，但其涂层只能在较低温度使用，且与基体结合力较差。

徐喆等[21]采用溶胶凝胶法，在SiC–C/C材料上制备出了ZrO2–SiO2复合涂层。但随着氧化时间的增加，所制备的涂层出现了裂纹等缺陷，加剧了氧化的程度，无法满足长时间的抗氧化保护。采用高温固相反应法合成碳纤维增强的碳化硅复合材料，形成LMA/Er2Si2O7和LMA/Er2Si2O7/Si两种结构的抗氧化涂层。Si涂层对基体微孔起密封作用，降低了氧气的渗透率。随着温度大于1 200 ℃，循环热震10次后，涂层裂纹逐渐增多[1,23]。

上述工艺，都有一共同特点：制备周期长，工艺较复杂等。基于此，Luo等[1]采用激光辐照工艺，在镍基板将微米SiC制备成纳米SiC涂层，为制备纳米材料提供了一种新的途径。Socol[25]采用脉冲激光沉积工艺，在不同的甲烷气体压力下，在（100）硅基面上从400 ℃到1 000 ℃沉积SiC薄膜。Cui[26]将纳米碳化硅颗粒预置在Al基板上，采用激光0.6 J的激光能量熔化铝板，得到具有纳米SiC的复合层。激光具有超快加热、可控性好、重复性好，峰值功率高、绿色环保等优点[27-28]，具有的瞬态非平衡能量输出机制可以为整个制备过程提供快速高效的热源。当与材料相互作用时，激光光斑内所呈现出高斯分布的能量密度使不同位置的材料所受到的激光能量密度不同，因而可以得到不同的组织结构。其具有的非常高的温度梯度、极短的加热时间和瞬态的高速冷淬过程使材料的相变几乎在原位发生，从而可以令所获得材料的晶粒尺寸保持在纳米尺寸。Luo等[29]已经对不同激光能量密度下制备的涂层试样的微观形貌、晶体结构、抗氧化性能进行分析对比，本文旨在研究不同激光扫描间距涂层试样的形貌和抗氧化性能差异。

1 试验

1.1 涂层制备

本文选用北京晶龙特碳石墨厂的高纯石墨为基体，粒度为40 μm的高纯SiC微粉为涂层主要原料，实验室自制的9.3%酚醛树脂/无水乙醇溶液作为黏结剂，按一定比例混合，置于磁力搅拌器中充分搅拌至均匀浆料。然后用涂刷法将涂层浆料均匀地涂刷在石墨基体表面形成预置涂层，厚度为0.3 mm，然后放入80 ℃烘箱中15～20 min烘干。重复上述操作，制备预置涂层试样若干块，并用称重法选样，选用质量变化相同的预置涂层试样进行后续的激光处理。试验设备选用IPG公司的振镜式连续光纤激光器（PS– YLR–500），波长为1 060～1 090 nm，光斑大小为120 μm，场镜焦距为298 mm。为防止石墨基片在高能量密度的激光作用下被氧化，试验采用Ar气保护装置，如图1所示。本试验采用的激光扫描方式为往复扫描，扫描路径如图2所示。试验完成后，在取出试样前需使其在气氛保护装置中自然冷却一段时间，避免激光作用后的残余热影响使石墨基体氧化。

图1 激光辐照处理设备示意图

1.2 组织形貌观察及性能测试

试样的微观形貌分析分别采用日本日立（haitachi S–4700）场发射电子显微镜（SEM）、NIKON公司的三目体视光学显微镜（型号为SMZ745T）和日本基恩士公司的激光共聚焦显微镜。其中，通过SEM观察可以确认组成涂层颗粒维持在纳米尺度。表面形貌观察主要用到了体视显微镜。激光共聚焦显微镜采用VK–X1000系列形状测量激光显微系统，能更完整清晰观察涂层表面的连续性，分析粗糙度。

图2 激光扫描方式示意图

选用上海大恒光学精密机械有限公司SG– XL1400高温箱式炉，进行了650、800 ℃两种温度条件下的恒温氧化测试以及650～800 ℃失重速率随温度变化的测试。用电子天平（感量0.01 mg）称量氧化前后的质量，根据其失重率变化来表征涂层的抗氧化性能。试样失重率（Δ）与质量的关系为：

式中：1、2分别代表涂层样品氧化前后的质量。

2 分析与讨论

2.1 涂层显微形貌

在石墨基块表面均匀涂覆的微米SiC涂层，如图3a所示为激光处理前的预置涂层显微形貌，是粒度为10～50 μm不等的不规则形状颗粒。为使微米SiC充分转变为纳米SiC涂层，激光辐照区域调节为10 mm × 10 mm。表1是激光辐照的工艺参数，选定激光功率为200 W，扫描速度为30 mm/s，根据激光能量密度公式[30]：

E=/() (2)

式中：E表示激光能量密度，J/mm2；表示激光功率，W；表示激光光斑直径，mm；表示激光扫描速度，mm/s。可知此时激光能量密度为55.56 J/mm2，然后调节激光扫描间距分别为0.06、0.08、0.10 mm进行激光处理。图3b—d分别对应激光扫描间距为0.06、0.08、0.10 mm时高倍数下的SEM形貌，可知3种扫描间距下制备的涂层颗粒均在纳米尺度，表面经激光辐照后所获得的涂层为纳米SiC涂层。

图3 不同扫描间距激光处理SiC涂层表面组织结构

表1 改变激光扫描间距的工艺参数

Tab.1 Process parameter table for changing laser scan track spacing

图4为涂层经不同道间距激光辐照后的XRD图。由图4可知，涂层颗粒主要由α–SiC、β–SiC组成。涂层颗粒经不同激光能量密度的激光辐照后，衍射特征峰没有产生明显的差异，表明其物相组成并没有发生明显的变化，且所有的衍射峰都非常尖锐，表明涂层的纳米颗粒为结晶度良好的晶体结构。

激光作用于预置涂层试样时，其物料的传递过程如图5所示。在密闭的反应室中填充有惰性保护气体，当材料表面受激光光束作用时，如图5a所示，在光斑周围，由于高能量密度激光的瞬时热作用，激光与SiC微米粉末作用后产生的等离子体会扩散到密闭的反应室中，如图5b和图5c所示。它的能量会被周围温度较低的保护性气体吸收，环境温度因此升高而等离子体温度降低，且由于激光瞬时热作用造成的较大温度梯度，其中所包含的微观粒子开始快速冷却、成核、结晶，原子分子团簇在一起，形成纳米颗粒。由热力学可表述为：在激光作用下，密闭的反应室中产生等离子体，当其处于过饱和状态时，吉布斯自由能较高，系统不稳定，通过析出新物质的形式来减小吉布斯自由能，由此激光作用后较大的温度梯度成为新物质结晶成核及长大的驱动力[31]。

图4 SiC涂层显微形貌

图5 激光作用物质传递过程示意

2.2 激光扫描间距对所形成的SiC涂层的显微形貌的影响

图6为涂层经不同扫描间距激光辐照后的微观形貌。图6a为激光扫描间距为0.06 mm时，涂层试样的典型微观形貌，可知该激光能量密度下涂层表面纳米SiC颗粒存在大量球状聚集现象，分析其原因是涂层制备过程中由于激光扫描间距较小，在激光扫描总面积一定时，预置涂层试样整体的热输入量较大，且相邻扫描间隙较小时，激光辐照后散热较慢，形成的纳米SiC颗粒受残余热影响在沉积于表面的过程中仍然较为活跃，类似于溶液中的布朗运动，颗粒之间相互碰撞并由于纳米颗粒间吸引力的作用连接在一起，形成二次颗粒，二次颗粒较单一颗粒运动速度下降，但仍有机会与其他颗粒发生碰撞，产生更大的颗粒，直到大到无法运动沉降下来，从而出现大量球状聚集现象。图6b为激光扫描间距为0.08 mm时，涂层试样的典型微观形貌，涂层表面较为均匀致密，未发现明显缺陷。图6c为激光扫描间距为0.10 mm时，涂层试样的典型微观形貌，由图中可以明显观察到激光辐照的过渡区域没有形成良好的烧结，存在较大缝隙，且烧结区域不规则、成形较差。综上所述，在制备涂层过程中，当激光扫描间距为0.06 mm时，涂层表面存在明显的球状聚集现象，其表面起伏较大；当激光扫描间距为0.10 mm时，激光辐照的过渡区域能量输入相对较少，形成较大的温度梯度，扫描路径中心区域微粒更易聚集，且过渡区域的残余热不足以使该处纳米SiC颗粒形成良好的烧结，导致过渡区域形成较大缝隙；激光扫描间距为0.08 mm时，制备的涂层较为均匀连续，且未发现明显缺陷，涂层形成质量较好。

图6 SiC涂层经不同扫描间距激光辐照后的微观形貌

为探究激光扫描间距对涂层表面三维形貌的影响，分别对0.06、0.08、0.10 mm的激光扫描间距下所制备的涂层试样进行观测，结果如图7所示。其中图7a—c分别表示激光扫描间距为0.06、0.08、0.10 mm时制备的涂层试样。三维轮廓图对应数值为表2涂层经不同激光扫描道间距激光辐照后的粗糙度。可以较为直观地看出在激光扫描间距为0.06 mm时，涂层试样表面具有明显的隆起，是纳米SiC颗粒团聚形成的球状聚集体，最高处与最低处的高度差为240.237 μm；激光扫描间距为0.08 mm时，涂层试样具有较平整均匀的表面形貌，最高处与最低处的高度差仅为135.829 μm；而激光扫描间距为0.10 mm时，其表面的高度差为320.658 μm。结合对应的粗糙度数值进行对比可以发现，激光扫描道间距在0.06～ 0.08 mm范围时，粗糙度随着道间距的增大而减小，其原因是道间距为0.06 mm时，涂层整体的热累积量较大，散热较慢，受残余热影响，形成的纳米颗粒更容易形成球状聚集体，导致涂层表面不均匀；激光扫描间距在0.08～0.10 mm范围时，粗糙度随着道间距的增大而增大，此时由于激光扫描轨迹的过渡区域间隔较大，导致该区域不能形成良好的烧结，从而产生较大间隙，粗糙度因此增大。由此可知，当激光扫描间距为0.08 mm时，形成的涂层表面较为平滑均匀，粗糙度较小。

图8为涂层经不同扫描间距激光辐照后的SEM典型截面形貌。其中，图8a为扫描间距为0.06 mm时，试样截面的SEM典型形貌，可以明显观察到此时表面起伏较大，对应图6a和图7a中表面球状聚集现象明显、粗糙度较大的现象。图8b为扫描间距为0.08 mm时，试样截面的SEM典型形貌，此时表面波动较小，没有明显缺陷。图8c为扫描间距为0.10 mm时，试样截面的SEM典型形貌，可以观察到存在明显沟壑，对应了图6c和图7c中涂层在激光扫描的过渡区域成形质量不佳的情况，其涂层有可能会在高温氧化处理过程中开裂而失效。以上分析结果均表明选用激光扫描道间距为0.08 mm时，可以获得形貌较好、表面更为均匀连续、无明显缺陷的纳米SiC涂层试样。

图7 涂层经不同扫描间距激光辐照后的三维形貌

表2 涂层经不同激光扫描道间距激光辐照后的粗糙度

Tab.2 Roughness of coatings irradiated by laser with different scanning track spacing

图8 涂层经不同激光能量密度激光辐照后截面的SEM典型形貌

2.3 激光扫描间距对所形成的SiC涂层的高温抗氧化性能的影响

图9为不同激光扫描间距条件下制备的涂层试样与无涂层的石墨试样在600～850 ℃不同温度条件下氧化20 min后的失重率随温度变化的曲线。由图9可知，在600 ℃以下时，氧化20 min后，其失重率变化不太明显，有涂层的试样与裸露的石墨基体均表现出良好的抗氧化性能；然而，在650 ℃以上时，随着温度的持续提高，无SiC涂层保护的试样的氧化失重率数值明显增大，且有SiC涂层的试样氧化失重率数值明显小于无涂层的试样。所以在600～750 ℃范围内，涂层试样在高温有氧环境中均表现出了良好的抗氧化性，其氧化失重率较低，小于8%。其中，激光扫描间距为0.08 mm时制备的涂层试样在750 ℃以上时仍表现出了优异的抗氧化性能，其次是激光扫描间距为0.06 mm时制备的涂层试样，而制备涂层时激光扫描间距为0.10 mm的涂层试样表现出相对较差的抗氧化性能。即在其他工艺条件一定时，在激光扫描间距0.06～0.10 mm范围内，涂层试样的抗氧化性能强弱随激光扫描间距变化为随着扫描间距的增加，先增强后减弱。其中，扫描间距选用0.08 mm时，涂层试样呈现出了最优异的抗氧化保护效果。

图9 不同激光扫描间距条件下试样的氧化失重率随高温处理温度变化

为更好地反映涂层的高温抗氧化性能，分别取650 ℃和800 ℃做了2组恒温有氧条件下的高温氧化测试，每隔20 min记录试样的质量变化情况，并绘制试样失重率随氧化时间变化的曲线。图10为650 ℃恒温有氧条件下，试样的失重率随氧化时间变化的曲线。由图10可知，在该温度条件下，试样的氧化失重率与氧化时间大致符合一次线性关系，表明其氧化速率大致稳定。激光扫描间距为0.10 mm的涂层试样表现出的抗氧化性能较差；激光扫描间距为0.06 mm和0.08 mm的涂层试样在氧化前期表现出较好的抗氧化性能，而高温氧化80 min后，激光扫描道间距为0.08 mm的涂层试样表现出了更好的抗氧化性能。结合图6c可知，在激光扫描间距较大的情况下，其扫描过渡区域并没有形成良好的烧结，所制备的涂层中本身具有缝隙，在高温处理过程中，基体和涂层共同受热膨胀，涂层中原有的缝隙随着基体的热膨胀而拓宽并加深，形成较大裂纹，在高温环境中，空气中的氧气通过裂纹透过涂层而与基体接触，从而使石墨基体发生氧化。而激光扫描间距较小时，涂层经激光扫描过程中由于预置涂层本身并不绝对均匀，伴随残余热影响，所形成的纳米SiC涂层表面并不均匀连续，低凹出容易在受热过程中形成裂纹，成为氧气接触基体的通路。

图11为800 ℃恒温条件下，试样的氧化失重率随氧化时间变化的曲线，其氧化失重率与氧化时间同样呈现出较好的一次线性的拟合度，且激光扫描道间距为0.08 mm的涂层试样同样表现出了更好的抗氧化性能。此温度下，激光扫描间距为0.06 mm时的涂层试样相比于激光扫描间距为0.10 mm的涂层试样表现出较差的抗氧化性能，推测其原因是该温度条件下，扫描间距为0.06 mm涂层试样表面低凹处更容易在高温环境中开裂，形成氧气通路侵蚀基体。

综上所述，激光辐照制备纳米SiC涂层相较其他工艺所制备涂层主要有结晶度良好的α–SiC、β–SiC纳米晶颗粒组成，活化能较高，抗氧化能力强；其次，激光辐照工艺由于采用黏结剂预置涂层，黏结剂在激光辐照后仍残留在涂层中，由于其在高温下具有较好的黏结性能，同样可以在高温下减少涂层开裂和抑制涂层裂纹的拓展，可以加强涂层对基体的保护效果。

图10 在650 ℃恒温条件下不同激光扫描间距试样的氧化失重率随高温氧化时间变化

图11 在800 ℃恒温条件下不同激光扫描间距试样的氧化失重率随高温氧化时间变化

图12是通过阿伦尼乌斯公式线性拟合绘制的曲线。一般来说，活化能越高，抗氧化能力越强，阿伦尼乌斯公式可表示为：

式中：T表示绝对温度，K；k表示温度为T时的反应速度常数；A指前因子，也称为阿伦尼乌斯常数，单位与k相同；Ea称为试验活化能，一般可视为与温度无关的常数，J/mol；R表示摩尔气体常数，其值大约为8.314 472 J/(mol·K)。由此可通过计算反应的活化能来验证涂层的抗氧化能力。通过式（3）计算得到当扫描间距为0.06 mm时，Ea=9.506× 104 J/mol；当扫描间距为0.08 mm时，Ea=1.014× 104 J/mol；当扫描间距为0.10 mm时，Ea=10.643× 104 J/mol。由此可知，扫描间距为0.08 mm时，涂层试样所具有的活化能值最大，抗氧化性能最好，这与高温氧化试验结果相吻合。

3 结论

1）通过激光辐照的方法，采用酚醛树脂作为预置涂层的黏结剂，在Ar气氛保护的反应室中实现了将微米SiC涂层转变为纳米SiC涂层，在石墨基片表面成功制备了纳米SiC保护涂层。

2）选定激光功率200 W、扫描速度30 mm/s，改变激光扫描间距的试验结果表明，经0.06 mm扫描间距的激光辐照后，涂层表面不均匀，表面起伏较大；经0.10 mm间距的激光辐照后，涂层表面的扫描过渡区域存在烧结不良的现象；而经0.08 mm扫描道间距的激光辐照后的涂层表面均匀连续，涂层形成质量较好。

3）制备的纳米SiC涂层可以有效抑制石墨基体在高温有氧条件下被氧化，且由高温氧化处理试验结果可知，当选用激光扫描间距为0.08 mm时，所制备的涂层的抗氧化性能最好。通过阿伦尼乌斯线性拟合曲线计算涂层试样的活化能结果可知，激光扫描间距为0.08 mm时所具有的活化能值最大，验证了该激光扫描间距时，所制备的涂层试样的高温抗氧化性能最好。

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Effect of Scanning Distance on Nano SiC Oxidation Resistant Coating Prepared by Laser

1,2,1,2,3,4,4,3,3

(1. Hangzhou Chunjiang Valve Corporation, Hangzhou 311500, China; 2. Zhejiang Chunjiang Intelligent Valve Research Institute, Hangzhou 311500, China; 3. Zhijiang College, Zhejiang University of Technology, Hangzhou 310024, China; 4. Zhejiang High End Laser Manufacturing Equipment Collaborative Innovation Center, Hangzhou 310014, China)

SiC has good physical and chemical compatibility with graphite, which makes it one of the main materials in the research of graphite anti-oxidation coating. Therefore, in order to study the quality and performance of SiC coating on the surface of graphite substrate, this paper proposes a rapid preparation process of high temperature oxidation resistant nano-SiC coating on graphite substrate by laser irradiation, and obtains the best process parameters of preparation of oxidation resistant coating and the method of enhancing oxidation resistance effect by additives through experimental optimization design.

In this paper, a 500 W fiber laser with galvanometer was used to convert the micro-SiC coating into nano-SiC coating in an Ar atmosphere protected reaction chamber. The SiC coating was successfully prepared on the surface of graphite substrate. CCD response surface method was used to design the laser power, laser scanning path spacing and laser scanning speed as three factors and three levels experiment. According to the experimental results of high temperature oxidation at 700 ℃ for 1 h, the appropriate laser process parameters were preliminarily determined. The laser power and laser scanning speed determine the laser energy density. The experimental results show that the oxidation weight loss rate of the coating is related to the laser energy density and laser scanning channel spacing. When the laser power is 200 W, the channel spacing is 0.08 mm and the laser scanning speed is 30 mm/s, the oxidation weight loss rate of the coating sample is the lowest.

SEM, XRD and TEM were used to analyze the relationship between laser energy density, channel spacing and micro morphology, phase composition and crystal structure of the coating. The results show that the coating is nano-SiC coating. When the laser energy density is 55.56 J/mm2and the scanning spacing is 0.08 mm, the coating has good surface morphology and no obvious defects. The coating is mainly composed of α-SiC and β-SiC nanocrystals with good crystallinity. When the laser energy density is 55.56 J/mm2, the coating is mainly composed of single crystal structure; when the laser energy density is 83.33 J/mm2, polycrystalline and single crystal structure coexist; when the laser energy density is 111.11 J/mm2, the coating is mainly composed of polycrystalline structure. Through constant temperature oxidation experiments at 650 ℃ and 800 ℃ and 600-850 ℃ The relationship between the laser energy density, the laser scanning path spacing and the oxidation resistance of the coating was studied, and the experimental results were compared with the uncoated graphite samples. It was proved that the prepared nano SiC coating could effectively inhibit the oxidation of graphite matrix in high temperature aerobic environment. At the same time, the failure mechanism of the coating samples in high temperature oxidation was analyzed, and the oxidation experimental results were verified by linear fitting of Arrhenius formula. The results show that the oxidation resistance of the coating is the best when the laser energy density is 55.56 J/mm2and the scanning distance is 0.08 mm.

laser preparation; scanning distance; SiC coating; oxidation resistance

2021-06-25；

2021-12-29

LU Yuan-hang (1988-), Male, Master, Engineer, Research focus: surface strengthening of valve sealing.

路远航, 骆芳, 胡晓冬, 等. 扫描间距对激光制备纳米SiC抗氧化涂层的影响[J]. 表面技术, 2022, 51(9): 395-403.

V261.8

A

1001-3660(2022)09-0395-09

10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2022.09.000

2021–06–25；

2021–12–29

路远航（1988—），男，硕士，工程师，主要研究方向为阀门密封面表面强化。

LU Yuan-hang, LUO Fang, HU Xiao-dong, et al. Effect of Scanning Distance on Nano SiC Oxidation Resistant Coating Prepared by Laser[J]. Surface Technology, 2022, 51(9): 395-403.

责任编辑：万长清