基于ABAQUS的纳米级二维调整架结构模态分析

王志海，李丽娟

(长春理工大学 光电工程学院，长春 130022)

基于ABAQUS的纳米级二维调整架结构模态分析

王志海，李丽娟

(长春理工大学 光电工程学院，长春 130022)

应用大型分析软件ABAQUS对在三维软件CATIA中建立的二维调整架的模型进行了有限元建模，并对调整架进行了模态分析，分别获得了该调整架的低阶固有频率及其对应的振型图，得到了前10阶模态的振动规律，找到了调整架的薄弱环节，为其结构设计、动力学分析及使用环境要求提供了有效的理论依据。在使用中使调整架的固有频率远离工作频率，避免共振，减少结构损伤，提高了调整架的寿命与精度。

调整架;有限元;模态分析

0 引言

在现代光学精密测控领域，调整架的作用举足轻重，其精度直接影响测控结果。在众多领域中，调整架的设计不仅要考虑精度因素，还要考虑其模态。通过模态分析，设计时将调整架的固有频率远离工作频率就可以避免发生共振，提高调整架的测量精度。因此研究调整架的结构动态特性固有频率和振型是分析评价调整架动态性能的重要指标。模态分析主要是用于确定结构的振动特性、固有频率和振型。

有限元分析等现代结构分析方法已受到机械设计人员的广泛认同和采用，并取得了显著的技术经济效益。本文采用ABAQUS有限元软件分析对调整架(用于ZYGO干涉仪上调整CGH位置)进行了模态分析，确定了各阶固有频率和振型。

1 模态分析的理论依据

模态分析就是结构的固有振动特性分析，这种分析用于确定结构的固有频率和振型，其分析结果可作为瞬态动力学分析、谐响应分析和谱分析等其他动力分析的基础。……