民转军技术

电子工业用金基蒸发材料及溅射靶材

【关键技术参数或产品性能】

金基蒸发材料：

1)高纯金5N及纯金4N产品

高纯金：纯度Au≥99.999%、杂质总量≤10PPM、其中C≤0.3PPM；纯金：纯度Au≥99.99%、杂质总量≤100PPM。

2)金铍AuBe1-2.5产品

成分：Be1-2.5、Au余量、杂质总量≤0.01%。

3)金锗AuGe2-12、金锗镍AuGe10-12Ni1-5合金产品

成分：Ge2-12、Au余量、杂质总量≤0.01%；Ge10-12、Ni1-5、Au余量、杂质总量≤0.01%。

4)金锡合金、金锌合金、金镓合金产品

产品规格：￠2×5mm、￠3×4mm、≠2×10×10mm等规则颗粒，丝材、片材。

金基溅射靶材：

高纯金靶材产品：纯度：Au≥99.999%、杂质总量≤10 PPM、C≤0.3PPM；

金锗AuGe12、金锗镍AuGe11.5Ni5合金靶材产品：

金锗AuGe12成分：Au88%,Ge余量、杂质总量≤0.01%、C≤0.3PPM；

金锗镍AuGe11.5Ni5成分: Au83.6%、Ni5%、Ge余量、杂质总量≤0.01%、C≤0.3PPM；

产品规格: 高纯金厚度3mm、直径6英寸、8英寸、127×382mm等；AuGe12、AuGe11.5Ni5合金靶材、厚度6mm、直径6～8英寸、127×382mm等。

关键技术：高纯金原料批量制备技术；连铸工艺连铸高纯金及合金技术；精密浇铸AuBe、AuGe、AuGeNi合金规则颗粒技术；制备超低含碳量高纯金蒸发源及溅射靶材技术；采用包覆热轧加工制备AuGe、AuGeNi合金箔材技术。

本产品为单位自有技术，目前处于规模化生产阶段，属国内先进水平。

【功能及主要应用情况】

高纯金及合金具有极好的化学稳定性，接触电阻低而稳定，导电性和导热性良好，易形成膜、易键合和与半导体基体好的附着性。通过添加合金元素形成金锗、金锗镍、金铍、金镓、金锡等合金后可改变其熔点，改善与不同半导体芯片材料的润湿性、附着性，特别是可以与化合物半导体芯片形成金属-半导体(M-S) 欧姆接触。高纯金及合金通常加工成蒸发源或溅射靶材形状，使用真空蒸发或溅射工艺沉积在半导体芯片表面，形成欧姆接触、电极和连线膜，是制造半导体芯片的关键基础材料，大量应用于制造发光二极管(LED)，军用和民用微波通信器件，航天、航空等重要领域用高转化率半导体化合物(GaN、GaAs等)芯片太阳能电池等。

【产品(技术)持有单位】贵研铂业股份有限公司

玻璃纤维空气滤纸

【关键技术参数或产品性能】

通风用滤纸(ASHRAE)：过滤效率15～80%，过滤阻力15～90Pa；

中、高效空气过滤器用滤纸(HEPA)：过滤效率：95～99.99%(0.3μm)；

过滤阻力160～380Pa；

超高效空气过滤器用滤纸(ULPA)：过滤效率：99.995～99.999%(0.3μm)；过滤阻力400～450Pa；

厚度0.30-0.35mm；抗张强度≥1.2 kN/m(纵向)，≥0.5 kN/m(横向)；挺度≥1.2mN．m(HEPA、ULPA)，≥1.5 mN．M(ASHRAE)。

本产品为单位自有技术并获国内发明专利，目前处于规模化生产阶段。

【功能及主要应用情况】本产品用于医药、电子、食品、纺织、高档办公娱乐场所等行业的空调系统中的空气过滤。一般通风用滤纸(ASHRAE)主要用于普通空调系统、燃气轮机与空压机；中、高效空气过滤器用滤纸(HEPA)主要用于10万级～万级洁净室或工作台、核电站排风、高档家用吸尘器、空气净化器、防毒面具等；超高效空气过滤器用滤纸(ULPA)主要用于芯片厂及100级、10级、1级洁净厂房等。

【产品(技术)持有单位】中材科技股份有限公司

太阳能电池用锗单晶片

【关键技术参数或产品性能】

本产品为单位自有技术并获国内发明专利，目前处于中试阶段。

【功能及主要应用情况】锗单晶片用于生产高效率三结砷化镓太阳能电池，主要应用于卫星、空间站等太阳能电池，及地面海岛、边防哨所以及建设地面高倍聚光太阳能电站。

【产品(技术)持有单位】云南中科鑫圆晶体材料有限公司

TbDy-Fe磁致伸缩材料

【关键技术参数或产品性能】材料磁致伸缩性能：l≥1000ppm，

力学性能：抗弯强度(σbb)≥20Mpa，抗压强度(σbc)≥250MPa

本产品为单位自有技术并获国内发明专利，目前处于中试阶段。

【功能及主要应用情况】用这种材料做驱动元件的器件具有功率大，体积小，结构简单，响应快，精度高，频带宽，可靠性高等优点。主要用于制造致动器、致动器(输出位移或力的伺服器件)、传感器和声表面波器件。

【产品(技术)持有单位】包头稀土研究院