大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计

糜小涛

（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033）

大型衍射光栅刻划机刀架导轨设计

糜小涛

（中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033）

根据衍射光栅刻划机刀架导轨的精度指标要求以及刻划机的整体结构，设计了刀架导轨并建立了三维模型。运用ANSYS软件进行了刀架导轨静力学分析，分析结果表明，设计的刻划机刀架导轨满足其精度指标要求。

衍射光栅刻划机；刀架导轨；静力学分析

0 引 言

衍射光栅是一种重要的光学元件，它稳定的性能、精确分光特性，使其广泛运用于各类光谱仪器中［1－5］。衍射光栅刻划机是制作衍射光栅母板的重要手段之一，国内外典型的光栅刻划机均采用罗兰型，即在刻划方向光栅刻刀作往复运动，在垂直于刻划方向工作台带着光栅毛坯作单向运动［67］。因此，光栅刻划机一般由带有刻刀的刻划系统和带有毛坯的分度系统组成。刻划机刀架导轨是刻划机刀架承载和导向的重要零件。

国际上典型的大型衍射光栅刻划机MIT-C的刀架导轨是由两套分离导轨组成：一套是用来承重用的圆柱形合金钢导轨；一套是用于导向的方形石英导轨［9］。国内衍射光栅刻划机典型的刀架导轨是2号刻划机矩形石英导轨。文中将在国内刀架导轨设计的经验基础上，设计大型衍射光栅刻划机刀架导轨，并对设计的刀桥导轨进行分析，分析结果表明，设计的刀桥导轨满足设计时的指标要求。

1 刀架导轨的设计

刀架导轨作用包括承载刀架和用于刀架的导向。……