中红外激光宽带偏振分束膜研制

岳 威，武淑明，韩 隆，韩永昶，张 阔，刘连泽

（固体激光技术重点实验室，北京100015）

·光学技术·

中红外激光宽带偏振分束膜研制

岳 威，武淑明，韩 隆，韩永昶，张 阔，刘连泽

（固体激光技术重点实验室，北京100015）

以薄膜光学和激光技术为背景，介绍了中红外固体激光器中宽带偏振分束膜的用途、设计与制备方法。基于波动光学原理，首先分析了核心元件硒化锌晶体的偏振特性以及中波宽带偏振分光的难点，其次讨论了布儒斯特角入射时薄膜选材、通带展宽、工艺制备等研究过程中的主要技术问题。利用计算机优化软件进行优化计算后，结合离子辅助工艺得到了吸收小、偏振比高、抗激光性能与附着力良好的薄膜。目前相关的技术应用在中红外固体激光器中达到了5kHz下大于15W的输出效果。

中红外；光学薄膜；偏振；布儒斯特角

1 引 言

中红外激光目前已经在光电对抗、制导侦察、定向探测和材料分析等多个领域内具有了广泛的应用。目前在3～5μm波段能够实现稳定可调谐激光输出的主要方式是利用非线性的光参量振荡技术，将现有短波固体激光工作波长转换到中红外区域［1］。

光学薄膜对于此类激光器至关重要，不仅每种谐振腔镜和非线性晶体都需要镀膜，以达到特定的性能指标，而且单路激光输出不足时，需要对于双路激光进行偏振合成，以达到更高的能量，这就对于光学薄膜提出了很高的技术要求，同时薄膜的吸收、附着力以及阈值效应也成为了激光器性能的关键所在。……