半导体晶圆测试间的洁净度控制

摘 要：在半导体器件晶圆的制造过程中，其易受外来物、灰尘粒子、金属离子等外来物的影响而破坏表面结构、电子特性等的产品特点决定了其制造过程必须有洁净度的要求，而经过长期的实践分析，我们发现在半导体晶圆测试的过程中，测试间也必须置于洁净室中，洁净度的控制也同样重要。洁净室的洁净度控制不好时，会导致空气中的含尘量过高，从而导致外来物的增加，进而影响测试时的良率和稳定性甚至会导致探针测试卡的损坏。

关键字：洁净室；洁净度控制；半导体；晶圆测试；稳定性

1 什么是洁净室

洁净室（Clean Room），亦称无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制，没有洁净室，污染敏感零件不可能批量生产。

洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

洁净室最主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。……