扫描电子显微镜校准方法

张欣宇，凌珊，封小亮，沈小艳

(1.广东省计量科学研究院，广东广州510405，2.广东省现代几何与力学计量技术重点实验室，广东广州510405;3.华南理工大学，广东广州510640)

0 引言

扫描电子显微镜(简称扫描电镜)是用于微观形貌观察和显微结构分析的大型分析仪器，在材料科学、生命科学、微电子、半导体工业等领域应用广泛。由于扫描电镜分析时采用电子束逐点、逐行扫描，扫描图像的质量受扫描电子线路影响，易出现图像放大倍率偏差、XY 方向图像畸变以及测长不准等问题［1］。扫描电镜作为纳米材料和微纳米结构尺寸表征的重要工具，其长度测量值也需要能够溯源，因此有必要对扫描电镜进行校准。

1988年发布的JJG550-88《扫描电子显微镜试行检定规程》规定了对扫描电镜放大倍数示值误差、放大倍数重复性、图像的线性失真度(图像畸变程度)、二次电子像分辨本领的检定要求［2］。随着科技的不断进步和电子显微技术的飞速发展，尤其是高分辨力场发射扫描电镜的日益普及，该规程提出的技术指标以及部分检定方法已不适合现今的仪器实际需要，但已近三十年，该规程未进行过修订。国家教委于1997年颁布了JJG(教委)010-1996《分析型扫描电子显微镜检定规程》，该规程在国家计量检定规程基础上对分析型扫描电镜进行了明确分类，对不同类型扫描电镜的技术指标分别予以规定，而且增加了作为扫描电镜重要附件的X 射线能谱仪的技术指标和检定方法［3］。上述两个规程……