单晶炉炉室不同位置的磁导率的研究

王　巍　孙　明　沈兴潮　周建灿　倪军夫　俞安洲　沈建国

（浙江晶盛机电股份有限公司，上虞312300）



单晶炉炉室不同位置的磁导率的研究

王巍孙明沈兴潮周建灿倪军夫俞安洲沈建国

（浙江晶盛机电股份有限公司，上虞312300）

摘要：本文通过导磁率测量仪，测得不锈钢炉室内外壁和炉盖内外壁的磁导率，发现炉盖磁导率比炉体要高，外壁磁导率比内壁要高，并且在焊接处的磁导率要远高于未焊接处的磁导率。通过对炉体各处磁导率的测量，可以得到炉体对磁场分布的影响，为外加磁场的设计研究提供保证。

关键词：单晶炉磁场磁导率焊接

引言

单晶硅（Silicon）也称硅单晶，是电子信息材料和光伏行业中的最基础性材料，属于半导体材料类。硅单晶已经渗透到国民经济与国防科技中各个领域，现当今全球超过2000亿美元的电子通信半导体市场中大约95%以上的半导体器件及99%以上的集成电路用硅［1］。当代直拉单晶硅正在向着高纯度、高完整性、高均匀性（三高）和大直径（一大）发展［2］。

单晶硅是电子信息材料和光伏行业中的最基础性材料，而直拉法单晶炉是生产硅单晶的关键技术装备。单晶炉是一种电阻加热式半导体材料冶炼炉，是在惰性气体保护下，采用石墨电阻加热的方法，将多品硅熔化，用软轴直接法生长无位错单晶硅的专用设备［3］，整个过程都是在单晶炉炉室中进行的。单晶炉包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、隔离阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、氩气系统及水冷系统等组成。……