静电放电模型及其失效特征分析

王斌+朱薇+陈业刚

摘 要：该文通过从理论入手，分析了3种静电放电模型，即：人体模型、机器模型及带电器件模型，找出3种静电放电模型所导致的器件失效特征，进而更加有效地帮助企业找出静电放电的根源，从而加强改进静电防护措施，减少因静电放电引起的不必要损失，提高产品可靠性。

关键词：人体模型 机器模型 带电器件模型 静电防护

中图分类号：TN406 文献标识码：A 文章编号：1672-3791（2017）07（b）-0057-02

作为近场自然危害源的一种，静电给现代生活已经造成了巨大损失和严重危害。近年来，随着微型电子领域的飞速发展，电子产品的更新速率越来越快，集成化程度越来越高。这些高度集成化的电子元器件和集成电路在流通和使用的过程中非常容易受到来自人体和外界环境中的静电源干扰，如不采取静电防护措施，将会损失惨重。作为随机过程的一种，静电放电过程复杂且多变，静电放电的形式各种各样，同一种静电源对不同的物体发生静电放电时导致的结果也不尽相同。温度、湿度等环境条件对静电放电影响严重，这就导致很难得到具有重复性的放电结果，难以有效地对ESD静电放电效应和危害进行正确的评估。因此，根据理论分析和讨论不同场合下静电放电的特点并建立相对应的ESD放电模型很有必要。

1 静电放电模型

根据放电源和放电形式的不同，可以建立起多种静电放电模型，用来分析静电放电的主要特征。在微电子领域，有以下3种静电放电模型经常被用来讨论。……