浅谈微电子科学与工程专业实践课程的设计

宗杨 宋文斌 张颖 王莉

摘 要：本文在对微电子制造技术发展趋势分析的基础上，结合我国微电子科学与工程专业教育现状，探索实训课程的设计方法和人才能力培养手段。突出以学生为中心，以产出为导向，培养新一代微电子人才，应对即将到来的技术革命。

关键词：微电子制造；OBE；课程设计

近年来，国家大力支持微电子制造行业的发展，同时对高校人才培养提出了更高的要求，在新形势下，只有与时俱进，不断实践和探索，才能跟上时代的步伐，为我国培养出合格的专业人才。

一、微电子制造技术发展趋势

目前微电子制造技术关键尺寸逐渐深入到10纳米以下，器件理论已经进入到量子力学领域。新的材料和器件不断出现，未来五年纳米电子技术将取代微电子技术，新的技术革命即将来临。

在现阶段，微电子技术具有如下的发展趋势：

（一）特征尺寸进一步缩小。深入到5nm以下特征尺寸后，器件原理和结构将会发生重大变革，将带来工艺技术和设备的更新，微电子制造工艺将迎来技术革命。

（二）系统级集成芯片的要求将带来3D芯片制造工艺的发展，将各种传感器单元与集成电路共同制造在不同硅基片上，然后再将多个硅基片进行垂直集成互联，相关的集成工艺技术将得到极大的发展。

（三）微电子技术同其他技术的融合程度将会不断增加。比如同计算机技术、机械技术等先进成熟技术的融合后产生新功能特点的新型技术。这也将产生底层制造工艺方面的新技术需求。……