多晶硅生产节能技术工艺研究

马明

摘 要：文章在阐述多晶硅化工生产工艺特点的基础上，结合多晶硅化工生产现状，为如何实现多晶硅化工的节能发展进行策略分析，旨在能够更好的发挥出多晶硅在化工领域中的重要作用。

关键词：多晶硅；生产工艺；节能技术；应用

在现代科技的快速发展下，多晶硅的应用范围不断扩大，不仅在集成电路合成、半导体制备、太阳能装置制造领域得到了应用，而且还能够被用来制造单晶硅。但是从实际应用情况来看，多晶硅在化工领域的应用和国外先进国家相比仍然存在较大的差距，且在加工应用的过程中出现了一系列环境污染问题。

1 多晶硅的生产工艺特点

多晶硅的生产操作工艺包含改良的西门子法、冶金法、硅烷热分解法、流化床法。在众多工艺中，西门子工艺以其安全性能强、环保性能良好、技术成熟的特点被人们广泛应用在多晶硅生产领域。西门子工艺能将还原炉排放的废弃物进行回收再利用，实现对废弃物的最优化和绿色化加工处理。

2 多晶硅化工节能生产技术工艺的应用

2.1 实现对还原工艺的优化处理，降低还原电耗

2.1.1 开发多对棒还原炉

在技术的快速发展支持下，以往的还原炉从九对棒、十二对棒、十八对棒发展到当前的二十四对棒、三十六对棒甚至更大的炉型。多对棒还原炉的持续开发使用有效提升了多晶硅产品的单炉产量，并在最大限度上降低了整个系统的能耗。

2.1.2 改进硅芯热启动技术

等离子预热启动硅芯技术。……