探析PERC太阳能电池生产工艺

姚旭　申开愉　韩燕旭　李亚男　刘欢

摘要：最早在1983年由澳大利亚科学家Martin Green提出PERC（Passivated Emitter and Rear Cell），目前正在成为太阳电池新一代的常规技术。本文阐述了PERC太阳能电池的结构和生产工艺，分析了相对于常规电池的优势，并研究了PERC太阳能电池生产过程有影响的工艺，为PERC太阳能电池的生产提供参考。

关键词：PERC太阳能电池  生产  工艺

1 PERC太阳能电池的结构

PERC技术，即钝化发射极背面接触，通过在太阳能电池背面形成钝化层，提升转换效率。PERC电池具有工艺简单，成本较低，且与现有电池生产线兼容性高的优点，成为未来高效太阳能电池的主流方向。

2 PERC太阳能电池的生产工艺

相比常规光伏电池生产流程而言，PERC太阳能电池的生产将增加2道工序和1道改进工序，其余工艺步骤均与常规太阳能电池生产流程相同。（1）沉积背面钝化层。（2）开口以形成背面接触。（3）需要有针对性地改进基于化学湿台的边缘隔离步骤，硅片背部绒面金字塔型结构需要被溶蚀掉。抛光的程度基于选用技术的不同而异。因此，钝化膜沉积设备和膜开口设备（既可以使用激光也可以运用化学蚀刻）都需要在传统的电池生产线上额外增加加工设备。

3 PERC太阳能电池与常规太阳能电池对比分析

PERC技术通过在电池的后侧上（如下面图像中的黄色层所示）添加一个电介质钝化层来提高转换效率。标准电池结构中更高的效率水平受限于光生电子重组的趋势。PERC电池最大化跨越了P-N结的电势梯度，这使得电子更稳定的流动，减少电子重组，以及更高的效率水平。……