电子工业洁净厂房电气设计探讨

刘 佳, 李光光

(1.北京中瑞电子系统工程设计院有限公司 上海分院, 上海 201203;2.北京中瑞电子系统工程设计院有限公司 华东分院, 江苏 无锡 214135)

0 引 言

近年来,国内大力发展显示屏及集成电路等电子产业,很多大型电子工业洁净厂房建设快速推进,一般包括主生产厂房(FAB栋)、中央动力中心(CUB栋)、变电站、大宗气站、仓库、废水处理站等建筑。随着电子产品新工艺、新技术的不断涌现,工艺制程及工艺越来越复杂,对洁净室环境的要求越来越高。主生产厂房对洁净度有严格要求,通过空调系统对空气中悬浮粒子进行控制,达到工艺设备需求的洁净等级[1-4]。为保证洁净环境及厂房生产的持续稳定安全运作,需要做好整个厂区的电气设计。

1 供配电设计

电子工业洁净厂房的供电可靠性要求很高,不同的工艺设备电压等级不同(很多设备为进口设备,电压等级为AC 120/208 V),规划供电系统时需综合考虑可靠性及不同电压等级的影响[5]。

1.1 负荷等级及电源类型

电子工业洁净厂房的用电设备负荷等级和供电要求根据生产工艺及GB 50052—2009《供配电系统设计规范》确定,一般可分为三种负荷等级。

(1)一级负荷中特别重要的负荷。电源类型为不间断电源(UPS)(U电),包括部分工艺设备控制系统及重要工艺设备,部分工艺冷却水系统(PCW)、洁净空调系统(MAU)及工艺排气系统,通信系统(IT),厂务监控系统(FMCS),生命安全系统(火灾报警系统、空气采用早期报警系统、公共兼应急广播系统、特种气体泄漏报警系统、液体化学品泄漏报警系统、安防系统),应急照明及疏散照明。……